一种镀膜用载具及镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术属于镀膜技术领域，尤其涉及一种镀膜用载具及镀膜设备；其中，镀膜用载具，包括：承载座，用于承载待镀膜的基材；掩膜板，具有一个或多个镀膜口；掩膜板盖设于基材之上并固定安装于承载座，以通过镀膜口对基材的目标位置进行镀膜；其中，掩膜板具有提拉部；通过机械提拉或磁力作用于掩膜板的提拉部，以使掩膜板脱离基材。本实用新型专利技术的镀膜用载具，在掩膜板上设计提拉部，放置或者移开掩膜板时，手指或机械手或利用磁力作用可抓取提拉部，可避免触碰基材，进而避免基材表面被划伤，避免镀膜产品报废。产品报废。产品报废。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜用载具及镀膜设备


[0001]本技术属于镀膜
，尤其涉及一种镀膜用载具及镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并结合电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简而言之，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体等)上凝固并沉积的方法。
[0003]真空镀膜能在金属、半导体、绝缘体、塑料、纸张、织物等基体表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等得到薄膜，使基体表面根据需要具备多种性能，例如抗辐射、抗腐蚀、抗磨损、改变光学性能等，其应用范围极广，如：装饰，工模具行业；太阳能光伏光热行业；建筑汽车玻璃大面积镀膜行业；平面显示行业；光学，光通信，光存储行业等都需要真空镀膜。高精度的真空镀膜在精密光学、眼镜光学、汽车车灯及内外饰、食品包装、薄膜电容器、显示器及汽车和建筑玻璃等行业的发展做出了巨大的贡献。例如，精密光学中，滤光片作为指纹识别模组的噪音滤除零件，不可或缺，窄带滤光片是3D摄像头发射端和接收端的关键之一，对红外摄像头的成像起着关键的作用。低角度偏移技术是产品的主要指标和要求，也是难点。这些都要依赖于真空镀膜技术。
[0004]在真空蒸发或溅射等镀膜技术中，通常需要用到镀膜夹具将待镀膜产品固定于工件架或工件盘上进行成膜。当需要在基材表面部分位置进行镀膜时，在镀膜设备进行镀膜操作前，需要将掩膜板遮盖基材表面上，例如，公开号为CN205856592U的专利文献公开的掩膜板和蒸镀装置。然而，在放置或移取掩膜板的过程中，机械手或手指可能触碰到基材，导致基材表面划伤，尤其是手指指甲或机械手接触点，而这种划伤是镀膜产品无法接受的损伤，严重的会导致镀膜产品报废。

技术实现思路

[0005]基于现有技术中存在的上述缺点和不足，本技术的目的之一是至少解决现有技术中存在的上述问题之一或多个，换言之，本技术的目的之一是提供满足前述需求之一或多个的一种镀膜用载具及镀膜设备，旨在放置或移取掩膜板的过程中，手指或机械手无法触碰到基材，避免镀膜产品因为划伤而报废。
[0006]为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：
[0007]一种镀膜用载具，包括：
[0008]承载座，用于承载待镀膜的基材；
[0009]掩膜板，具有一个或多个镀膜口；掩膜板盖设于基材之上并固定安装于承载座，以通过镀膜口对基材的目标位置进行镀膜；
[0010]其中，掩膜板具有提拉部；通过机械提拉或磁力作用于掩膜板的提拉部，以使掩膜板脱离基材。
[0011]作为优选方案，所述提拉部为提手，位于掩膜板背向承载座的一侧。
[0012]作为优选方案，所述提拉部有数个，沿掩膜板的周向均匀分布。
[0013]作为优选方案，所述承载座设有定位件，掩膜板具有与定位件定位配合的定位孔；或者，所述承载座具有定位孔，掩膜板具有与定位孔定位配合的定位件；
[0014]其中，定位孔和定位件与基材错位。
[0015]作为优选方案，所述掩膜板有多块，各掩膜板的定位孔或定位件的结构不同。
[0016]作为优选方案，所述承载座具有面向掩膜板开设的第一固定孔，掩膜板具有对应第一固定孔的第二固定孔；所述镀膜用载具还包括固定件，固定件依次穿设于第二固定孔、第一固定孔，以将掩膜板固定于承载座。
[0017]作为优选方案，所述提拉部为掩膜板周缘延伸的凸耳。
[0018]作为优选方案，所述承载座具有数个安装位，其中至少两安装位分别位于承载座的两侧；所述安装位用于安装掩膜板；
[0019]承载座的一侧设有转轴安装座，转轴安装座安装有转轴，转轴用于联动承载座转动。
[0020]作为优选方案，所述承载座的另一侧设有翻转支撑件，用于对翻转至目标位置的承载座进行定位。
[0021]本技术还提供一种镀膜设备，采用如上任一方案所述的镀膜用载具。
[0022]与现有技术相比，本技术具有如下优点：
[0023]本技术的镀膜用载具，在掩膜板上设计提拉部，放置或者移开掩膜板时，手指或机械手或利用磁力作用可抓取提拉部，可避免触碰基材，进而避免基材表面被划伤，避免镀膜产品报废。
[0024]本技术的镀膜设备，镀膜产品的良品率高，且镀膜效率高。
附图说明
[0025]图1为本技术的镀膜用载具的一实施例的结构示意图；
[0026]图2为本技术的掩膜板的一实施例的结构示意图；
[0027]图3为本技术的掩膜板的另一实施例的结构示意图；
[0028]图4为本技术的镀膜用载具的另一实施例的结构示意图；
[0029]图5为本技术的掩膜板的提拉部的各种实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0030]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后等)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0032]另外，在本技术实施例中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而
不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”或“数个”的含义是指至少两个，例如，两个、三个等，除非另有明确具体的限定。
[0033]如图1所示，本技术一实施例提出的镀膜用载具，包括承载座10、掩膜板20和设于掩膜板20上的提拉部30。
[0034]具体地，承载座10用于承载待镀膜的基材，掩膜板20盖设在基材上，掩膜板20固定安装在承载座10上，基材位于承载座10和掩膜板20之间，通过这种两侧夹持的方式能够很好的固定住基材。
[0035]其中，在掩膜板20表面开设镀膜口210，基材需要镀膜的位置暴露在镀膜口210，镀膜时通过镀膜口210对基材进行镀膜。镀膜口210的形状和大小可以依据实际镀膜需求而设定。
[0036]待镀膜的基材可以是塑料材质，也可以是玻璃材质。需要说明的是，为了避免基材和掩膜板之间具有较大缝隙，镀膜时在非镀膜区域镀上了膜层，掩膜板和基材之间紧密配合，减小缝隙的产生。
[0037]掩膜板通过其上设置的提拉部30实现移动。具体地，提拉部30可以是单独设置于掩膜板20上的独立部件，其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜用载具，其特征在于，包括：承载座，用于承载待镀膜的基材；掩膜板，具有一个或多个镀膜口；掩膜板盖设于基材之上并固定安装于承载座，以通过镀膜口对基材的目标位置进行镀膜；其中，掩膜板具有提拉部；通过机械提拉或磁力作用于掩膜板的提拉部，以使掩膜板脱离基材。2.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述提拉部为提手，位于掩膜板背向承载座的一侧。3.根据权利要求2所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述提拉部有数个，沿掩膜板的周向均匀分布。4.根据权利要求1所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述承载座设有定位件，掩膜板具有与定位件定位配合的定位孔；或者，所述承载座具有定位孔，掩膜板具有与定位孔定位配合的定位件；其中，定位孔和定位件与基材错位。5.根据权利要求4所述的一种镀膜用载具，其特征在于，所述掩膜板有多块，各掩膜板的定位孔或定位件的结构不同。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶利松，程俊华，
申请(专利权)人：杭州乾智新材料研究有限公司，
类型：新型
国别省市：