一种工作效率高的石墨钟罩炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种工作效率高的石墨钟罩炉，涉及到石墨钟罩炉技术领域，包括固定架，所述固定架底部固定设置有下底座，所述固定架中部一侧固定设置钟罩炉底座，所述钟罩炉底座顶部固定铰接设置有钟罩体，所述下底座与钟罩炉底座竖直对应设置，所述下底座与钟罩炉底座两端之间固定设置有导向杆，两个所述导向杆之间设置有升降座，所述升降座两端与分别与导向杆活动连接。所述升降座中部固定设置有电极，所述电极顶部贯穿钟罩炉底座中部伸入钟罩体内部。本实用新型专利技术通过升降座下降，带动电极下降，使得硅芯取出钟罩体，方便产品的卸取，提高工作效率，同时减少钟罩体内部热量的流失，节约能量。节约能量。节约能量。

【技术实现步骤摘要】
一种工作效率高的石墨钟罩炉


[0001]本技术涉及石墨钟罩炉
，特别涉及一种工作效率高的石墨钟罩炉。

技术介绍

[0002]国内外在多晶硅生产中主要运用的工艺方法是改良西门子法，用提纯后的高纯三氯氢硅与氢气按一定比例混合后通入炉体，同时给安装在电极上的硅芯加上一定的电压，硅芯有电流流过，使硅芯产生热量。炉体内气体在一定温度和压力下发生复杂的化学沉积反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品。一般情况下，炉内工作温度为1000℃左右，炉体材质一般为不锈钢或者碳钢不锈钢复合材料，为保护炉体不被高温损坏，也为了避免炉内副反应的产生，一般采用夹套冷却，通入循环冷却介质，移走辐射至炉壁的热量，以维持适宜的炉体温度。
[0003]由于炉体内气体在一定温度和压力下发生复杂的化学沉积反应，使多晶硅在硅芯沉积，最终制备多晶硅产品，硅芯需要及时的更换，现有硅芯更换操作不便，影响石墨钟罩炉的工作效率。
[0004]因此，专利技术一种工作效率高的石墨钟罩炉来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

[0005]为此，本技术实施例提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工作效率高的石墨钟罩炉，其特征在于：包括固定架(1)，所述固定架(1)底部固定设置有下底座(2)，所述固定架(1)中部一侧固定设置钟罩炉底座(3)，所述钟罩炉底座(3)顶部固定铰接设置有钟罩体(4)，所述下底座(2)与钟罩炉底座(3)竖直对应设置，所述下底座(2)与钟罩炉底座(3)两端之间固定设置有导向杆(5)，两个所述导向杆(5)之间设置有升降座(6)，所述升降座(6)两端与分别与导向杆(5)活动连接；所述升降座(6)中部固定设置有电极(7)，所述电极(7)顶部贯穿钟罩炉底座(3)中部伸入钟罩体(4)内部，所述电极(7)顶部固定设置有石墨夹头(8)，所述石墨夹头(8)顶部可拆卸设置有硅芯(9)，所述钟罩体(4)底部外侧固定设置有混合环形管(10)，所述混合环形管(10)内圈固定设置有进气嘴(11)，所述进气嘴(11)贯穿伸入钟罩体(4)内部。2.根据权利要求1所述的一种工作效率高的石墨钟罩炉，其特征在于：所述固定架(1)顶部一侧固定设置有升降气缸(12)，所述升降气缸(12)输出端与升降座(6)一端固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：史秋生，
申请(专利权)人：苏州锦业源自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：