一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用技术

本发明专利技术涉及一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用。所述制备方法包括：(1)准备衬底材料；(2)调整所述衬底材料与靶材安装位置之间的距离至预定距离；(3)将用于制备热致变色功能薄膜层的靶材置于真空腔室内的所述安装位置，所述真空腔室连通有供氧设备(4)利用脉冲激光器对靶材进行照射，生长底层薄膜层；(5)停止生长，静置预定时间；(6)重复步骤(4)

【技术实现步骤摘要】
一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用


[0001]本专利技术属于透明功能薄膜
，具体涉及一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及其应用。

技术介绍

[0002]在全球日益增长的能源消耗中，无论是发达国家还是发展中国家，建筑能耗都是国家总能耗中占比较重的一项，统计数据表明：目前我国社会总能耗中有30％左右来自于建筑能耗，而建筑能耗中有近50％来自于玻璃门窗的能量消耗。经过玻璃的能量交换是建筑节能的关键环节。目前，基于二氧化钒(VO2)热致变色薄膜的智能窗由于结构简单以及具有在使用过程中不需要消耗额外能源等优势，被公认为是最适合用于智能窗的热致变色材料。
[0003]对于VO2薄膜而言，单层薄膜的制备相对简便，但是其热致变色性能往往不如人意；一些精心制备的薄膜虽然在可见光区的透过率都比较高(可达到75％以上)，并且在调控太阳能调节能力上有了一定的成果，可是受限于制备的步骤较为繁琐而不利于大规模生产，对其在智能窗领域的应用有一定的限制作用。尽管通过加入缓冲层等相对传统的方法可以通过实现界面结构的更好匹配以提升一些原本较低的热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：(1)准备洁净的衬底材料；(2)将目标衬底材料置于真空腔室内，调整所述衬底材料与靶材之间的距离至预定距离；(3)将用于制备热致变色功能薄膜层的靶材置于真空腔室内的所述安装位置，所述真空腔室连通有供氧设备，用于向所述真空腔室内供氧纯氧；(4)利用脉冲激光器对靶材进行照射，生长底层薄膜层；(5)停止生长，静置预定时间；(6)重复步骤(4)
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(5)分别生长中间薄膜层和顶部薄膜层。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在所述步骤(5)之后、生长中间薄膜层之前，还包括：将靶材更换为金属Mo靶，采用同一束激光对靶材进行照射，激光照射角度与步骤(4)相同，将氧气压力调节为0，采用脉冲激光沉积法生长第一金属纳米粒子层。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括，在生长中间薄膜层之后，预定时间间隔内，将靶材更换为金属Mo靶，采用同一束激光对靶材进行照射，激光照射角度与步骤(4)相同，将氧气压力调节为0，采用脉冲激光沉积法生长第二金属纳米粒子层。4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，热致变色功...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗海涛，胡强，李明，乔文涛，闫玲玲，蔡红新，卞琳艳，
申请(专利权)人：河南理工大学，
类型：发明
国别省市：