下载一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用的技术资料

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本发明涉及一种新型VO2基热致变色复合薄膜制备方法及应用。所述制备方法包括:(1)准备衬底材料;(2)调整所述衬底材料与靶材安装位置之间的距离至预定距离;(3)将用于制备热致变色功能薄膜层的靶材置于真空腔室内的所述安装位置,所述真空腔室连通...
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