一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法，涉及光学精密检测技术领域，主要通过真空箱提供真空环境，真空箱内设置监测组件，检测组件包括旋转定位调节装置、激光模组和图像采集模组，其中，激光模组用于朝图像采集模组方向发射光束，旋转定位调节装置用于有选择性地多次使光束穿过，图像采集模组用于采集穿过光束的定位点图像。以上技术方案一方面通过构建真空环境，使得整个激光光束检测趋近于真实运行环境，保证检测结果准确，另一方面通过使光束进行多次穿透并及时采集光束的定位点图像，从而能够通过多次结果比对来保证检测结果的可靠性。对来保证检测结果的可靠性。对来保证检测结果的可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法


[0001]本专利技术涉及光学精密检测
，具体而言，涉及一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法。

技术介绍

[0002]在光路准直过程中，一般会涉及到使用激光发生装置、光斑或光束点图像采集装置，通过一定光束控制操作来判断光束是否达到使用精度要求，但是现有的光束精度检测仪器中，一方面是在大气环境下进行，无法模拟真空环境，导致检测结果不够准确，另一方面是一轮实验中只能进行单次检测，检测结果的可靠性不够。
[0003]有鉴于此，特提出本申请。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法，一方面通过构建真空环境，使得整个激光光束检测趋近于真实运行环境，保证检测结果准确，另一方面通过使光束进行多次穿透并及时采集光束的定位点图像，从而能够通过多次结果比对来保证检测结果的可靠性。
[0005]本专利技术的实施例是这样实现的：
[0006]第一方面，一种激光透射重复定位精度检测装置，包括真空箱和检测组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光透射重复定位精度检测装置，其特征在于，包括：真空箱，所述真空箱设置有与其内腔相互连通的抽气口和进气口，所述真空箱内设置有安装孔组，所述安装孔组包括第一定位孔、第二定位槽和第三定位孔，所述第一定位孔和所述第三定位孔分别设置在所述真空箱的相对两侧的侧壁上，所述第二定位槽位于所述第一定位孔和所述第三定位孔连线方向上的所述真空箱内壁上；检测组件，所述检测组件包括旋转定位调节装置、激光模组和图像采集模组，所述激光模组和所述图像采集模组分别设置在所述第一定位孔和所述第三定位孔处，所述旋转定位调节装置设置在所述第二定位槽处；所述激光模组用于朝所述图像采集模组方向发射光束，所述旋转定位调节装置用于有选择性地多次使光束穿过，所述图像采集模组用于采集穿过光束的定位点图像。2.根据权利要求1所述的激光透射重复定位精度检测装置，其特征在于，所述安装孔组与所述检测组件均有两组，且单组所述安装孔组与单组所述检测组件配套，其中，一组所述安装孔组中的所述第一定位孔和所述第三定位孔的排列方向与另一组所述安装孔组中的所述第一定位孔和所述第三定位孔的排列方向相反。3.根据权利要求1或2所述的激光透射重复定位精度检测装置，其特征在于，所述旋转定位调节装置包括：底座，所述底座设置在所述第二定位槽处，且所述底座上可转动地设置有转盘，所述转盘的端面上开设有多个用于所述光束穿过的透射孔，所述透射孔靠近所述图像采集模组的一侧用于连接能够对光束进行缩束的光束过滤元件；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构用于驱动所述转盘自转，以使每个所述透射孔均能够绕所述转盘的轴向转动，从而使所述光束有选择性地穿过。4.根据权利要求3所述的激光透射重复定位精度检测装置，其特征在于，所述旋转定位调节装置还包括精密测量元件，所述精密测量元件包括光栅尺和读数头，所述光栅尺沿所述转盘的圆周布置，所述读数头安装在所述底座上，并通过读取所述光栅尺的转动位移来测量所述转盘的转动角度。5.根据权利要求3所述的激光透射重复定位精度检测装置，其特征在于，多个所述透射孔划分为多组，每组均包括多个透射孔，每组透射孔内均包括第一透射孔和第二透射孔，且所述第二透射孔的数量大于所述第一透...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵功，刘洋，徐猛，赵运武，李月，王骁，杨碧颖，涂飞，徐刚，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：