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本发明公开了一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法,涉及光学精密检测技术领域,主要通过真空箱提供真空环境,真空箱内设置监测组件,检测组件包括旋转定位调节装置、激光模组和图像采集模组,其中,激光模组用于朝图像采集模组方向发射光束,旋...该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种激光透射重复定位精度检测装置、系统及检测方法,涉及光学精密检测技术领域,主要通过真空箱提供真空环境,真空箱内设置监测组件,检测组件包括旋转定位调节装置、激光模组和图像采集模组,其中,激光模组用于朝图像采集模组方向发射光束,旋...