废气处理效率调整方法及废气处理设备技术

本发明专利技术涉及废气处理技术领域，本发明专利技术提供一种废气处理效率调整方法及废气处理设备。废气处理效率调整方法包括：获取废气处理设备的进气口气体流量、出气口气体流量、目标物质的进气浓度、目标物质的出气浓度以及目标物质的出气浓度和目标物质的进气浓度的浓度比值；确定调节系数为出气口气体流量与进气口气体流量的比值；根据浓度比值与调节系数之积，确定目标物质的计算处理效率；获取目标物质的目标处理效率，确定目标物质的计算处理效率低于目标物质的目标处理效率；控制目标物质的出气浓度减小和/或控制调节系数变小。本发明专利技术提供的废气处理效率调整方法，通过调节系数来调整计算处理效率的计算，以使废气处理效果满足实际处理效果的要求。处理效果的要求。处理效果的要求。

【技术实现步骤摘要】
废气处理效率调整方法及废气处理设备


[0001]本专利技术涉及废气处理
，尤其涉及一种废气处理效率调整方法及废气处理设备。

技术介绍

[0002]工业生产过程中，会产生废气，废气需要通过废气处理设备进行处理，以满足气体排放要求。
[0003]其中，泛半导体行业的生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理系统及设备是生产工艺不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、工人职业健康及生态环境。故在生产线上(如8英寸、12英寸晶圆生产线)都已经用废气处理设备来处理产线各个工艺产生的废气。
[0004]当前，为满足废气处理设备的废气处理效率的要求，需要对废气处理设备的参数进行调节，但通过采样分析直接得出的废气处理效率与实际处理效率有差距，废气处理效果难以满足实际处理效果的要求。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供一种废气处理效率调整方法，用以解决现有技术中废气处理效果难以满足实际处理效果的要求的缺陷，通过引入调节系数来调整废气处理的计算处理效率的计算，使得计算得到的计算处理效率更接近实际处理效率，以使废气处理效果满足实际处理效果的要求。
[0006]本专利技术提供一种废气处理效率调整方法，包括：
[0007]获取废气处理设备的进气口气体流量、出气口气体流量、目标物质的进气浓度、目标物质的出气浓度以及所述目标物质的出气浓度和所述目标物质的进气浓度的浓度比值；
[0008]确定调节系数，其中，所述调节系数为所述出气口气体流量与所述进气口气体流量的比值；
[0009]根据所述浓度比值与所述调节系数之积，确定目标物质的计算处理效率；
[0010]获取目标物质的目标处理效率，确定所述目标物质的计算处理效率低于所述目标物质的目标处理效率；
[0011]控制所述目标物质的出气浓度减小和/或控制所述调节系数变小。
[0012]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述获取废气处理设备的出气口气体流量的步骤包括，
[0013]获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量，确定所述出气口气体流量为所述辅助气体的进气气体流量与所述进气口气体流量之和。
[0014]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量的步骤包括，
[0015]获取通入所述废气处理设备的所述辅助气体的进气流量以及所述辅助气体中参与反应后减少的反应气体流量，获取所述辅助气体的进气流量与所述反应气体流量的差值，所述辅助气体的进气气体流量为所述差值。
[0016]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述控制所述调节系数变小的步骤中，
[0017]控制所述辅助气体的进气气体流量减小，和/或，控制进气口气体流量增大。
[0018]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述废气为半导体制程废气，控制进气口通入的氮气气体流量增大。
[0019]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述废气为半导体制程废气，控制进气口与出气口之间加入的用于清洁的气体的进气气体流量减小，和/或，控制进气口与出气口之间加入的用于提供热量的气体的气体流量减小。
[0020]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述用于提供热量的气体包括可燃气体和助燃气体。
[0021]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述进气口气体流量为所述目标物质的进气浓度采样点前通入所述废气处理设备的各个管路的流量之和。
[0022]根据本专利技术提供的一种废气处理效率调整方法，所述出气口气体流量为所述目标物质的出气浓度采样点前通入所述废气处理设备的各个管路的流量之和。
[0023]本专利技术提供一种废气处理设备，用于执行如上所述的废气处理效率调整方法，所述废气处理设备设置有进气口样品采集装置和出气口气体采集装置。
[0024]根据本专利技术提供的一种废气处理设备，包括位于所述进气口样品采集装置上游的第一进气管路和位于所述进气口样品采集装置与所述出气口样品采集装置之间的第二进气管路，所述第二进气管路用于提供辅助气体，所述第一进气管路与所述第二进气管路均设置有流量计。
[0025]本专利技术还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述废气处理效率调整方法的步骤。
[0026]本专利技术还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理效率调整方法的步骤。
[0027]本专利技术还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述废气处理效率调整方法的步骤。
[0028]本专利技术提供的废气处理效率调整方法，在废气处理的计算处理效率的计算过程中引入调节系数，考虑到废气处理设备中废气被辅助气体稀释的影响，来调整废气处理的计算处理效率的计算，使得计算得到的计算处理效率更接近实际处理效率，以使废气处理效果满足实际处理效果的要求。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些
附图获得其他的附图。
[0030]图1是本专利技术提供的废气处理效率调整方法的流程示意图；
[0031]图2是本专利技术提供的废气处理设备的结构示意简图；
[0032]图3是本专利技术提供的电子设备的结构示意图。
[0033]附图标记：
[0034]1、采样泵；2、采样袋；3、进气口样品采集装置；4、出气口样品采集装置。
具体实施方式
[0035]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0036]此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上。
[0037]本专利技术的第一方面实施例，如图1所示，提供一种废气处理效率调整方法，包括：
[0038]步骤110，获取废气处理设备的进气口气体流量Q1、出气口气体流量Q2、目标物质的进气浓度C1、目标物质的出气浓度C2以及目标物质的出气浓度C2和目标物质的进气浓度C1的浓度比值a；
[0039]废气处理设备可用于处理多种废气，废气中携带不能直接排放的成分，废气在废气处理设备中进行处理，以去除不能直接排放的组分，满足排放要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理效率调整方法，其特征在于，包括：获取废气处理设备的进气口气体流量、出气口气体流量、目标物质的进气浓度、目标物质的出气浓度以及所述目标物质的出气浓度和所述目标物质的进气浓度的浓度比值；确定调节系数，其中，所述调节系数为所述出气口气体流量与所述进气口气体流量的比值；根据所述浓度比值与所述调节系数之积，确定目标物质的计算处理效率；获取目标物质的目标处理效率，确定所述目标物质的计算处理效率低于所述目标物质的目标处理效率；控制所述目标物质的出气浓度减小和/或控制所述调节系数变小。2.根据权利要求1所述的废气处理效率调整方法，其特征在于，所述获取废气处理设备的出气口气体流量的步骤包括，获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量，确定所述出气口气体流量为所述辅助气体的进气气体流量与所述进气口气体流量之和。3.根据权利要求2所述的废气处理效率调整方法，其特征在于，所述获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量的步骤包括，获取通入所述废气处理设备的所述辅助气体的进气流量以及所述辅助气体中参与反应后减少的反应气体流量，获取所述辅助气体的进气流量与所述反应气体流量的差值，所述辅助气体的进气气体流量为所述差值。4.根据权利要求2所述的废气处理效率调整方法，其特征在于，所述控制所述调节系数变小的步骤中，控制所述辅助气体的进气气体流量减小...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春水，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：