一种动态干涉仪及测量方法技术

本发明专利技术公开了一种动态干涉仪，该干涉仪包括两个干涉通道，分别为零位通道和圆载频通道，其中零位通道采用在焦光源的斐索干涉光路产生共光路干涉条纹，圆载频通道采用离焦光源产生同一斐索腔的圆载频干涉条纹，辅助零位通道条纹进行解相；本发明专利技术还公开利用上述动态干涉仪进行测量的方法，首先调整离焦光源的位置，使圆载频通道产生能够用于辅助零位通道进行相位处理的干涉条纹，同步采集零位通道和圆载频通道产生的干涉条纹，并对其进行相位解算和符号校正。本发明专利技术的动态干涉仪能够有效抑制振动的影响，获得的测量结果准确可靠，且结构简单，成本低。成本低。成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种动态干涉仪及测量方法


[0001]本专利技术涉及一种动态干涉仪，尤其涉及一种能够抗振动的动态干涉仪及使用该动态干涉仪对光学元件面形进行测量的方法。

技术介绍

[0002]斐索干涉仪是一种高精度的光学测量仪器，它被广泛应用于各种光学元件和光学系统的精密测量。但在实际应用中，环境振动会导致干涉条纹在测量过程中产生抖动，从而降低测量精度。
[0003]为了解决振动对斐索干涉仪的影响，现有技术途径主要包括三类：第一类是短相干同步移相干涉方法，利用短相干光源和像素化掩膜偏振相机，在同一时刻获取四幅移相的干涉条纹图像，从而实现抗振动的动态测量。此类方法的不足之处在于短相干光源的干涉技术需要干涉腔满足零光程干涉条件，光程匹配调节难度大；而且仪器内部玻璃元件的双折射应力会造成较大的非共路回程误差，难以应用于大口径斐索干涉仪。第二类是短相干时间移相干涉方法，利用短相干光源实现干涉腔的线性载频干涉，所产生的直线条纹被用于辅助被测件相位的解算。此类方法的不足之处在于仍然需要采用短相干光源，而且直线条纹无法用于相位符号(波面凹凸方向)的翻转校正。第三类是抗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种动态干涉仪，包括第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜和第二偏振分束器，其特征在于，所述干涉仪有两个干涉通道，分别为零位通道和圆载频通道，所述零位通道包括第一光源、第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜、第二偏振分束器和第一面阵探测器，所述第一光源设置在准直镜的焦点处，所述第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜沿第一光源的光路依次设置，所述成像镜、第二偏振分束器和第一面阵探测器沿非偏振分束器的反射光路依次设置；所述圆载频通道包括第二光源、第一偏振分束器、非偏振分束器、准直镜、参考镜、被测镜、成像镜、第二偏振分束器和第二面阵探测器，所述第二光源的光轴垂直于第一光源的光轴且偏离准直镜的焦点，所述第二面阵探测器沿第二偏振分束器的反射光路设置。2.根据权利要求1所述的动态干涉仪，其特征在于，所述第二光源可沿准直镜光轴移动。3.根据权利要求1所述的动态干涉仪，其特征在于，所述第一光源出射的光束为P偏振波，所述第二光源出射的光束为S偏振波。4.根据权利要求1所述的动态干涉仪，其特征在于，所述第一光源为第一激光器经将光束调整为P偏振波的第一半波片和第一扩束镜形成的点光源，所述第二光源为第二激光器经将光束调整为S偏振波的第二半波片和第二扩束镜形成的点光源；或第二光源为第一激光器通过空间分光再经第二半波片和第二扩束镜形成的点光源；或第一光源和第二光源为通过同一激光器经光纤分光获得的两个点光源。5.一种使用如权利要求1所述的动态干涉仪的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：方玉红，黄北寿，
申请(专利权)人：南京光途科技有限公司，
类型：发明
国别省市：