下载一种动态干涉仪及测量方法的技术资料

文档序号:33244927

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本发明公开了一种动态干涉仪,该干涉仪包括两个干涉通道,分别为零位通道和圆载频通道,其中零位通道采用在焦光源的斐索干涉光路产生共光路干涉条纹,圆载频通道采用离焦光源产生同一斐索腔的圆载频干涉条纹,辅助零位通道条纹进行解相;本发明还公开利用上述...
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