【技术实现步骤摘要】
一种显影液用二次反应罐
[0001]本技术特别涉及一种显影液用二次反应罐。
技术介绍
[0002]现有技术情况:显影液是溶解由曝光造成的光刻胶的可溶解区域的一种化学溶剂。现有的显影液根据应用领域的不同,需要对成分配比进行修改或者添加其他成分进行配制,因此对于特殊性能显影液来说,需要添加更多的成分,就需要更优秀的搅拌效果,现有的反应罐搅拌效果较差,为了改善这一问题,本技术提出了一种显影液用二次反应罐。
技术实现思路
[0003]为解决上述技术问题,本技术的目的在于提供一种显影液用二次反应罐,包括支撑座,所述支撑座上固定有反应罐,所述反应罐的底部设置有出液口,所述反应罐的上方设置盖板,所述盖板的下方设置有振动装置,所述振动装置下设置有搅拌杆,所述盖板通过螺栓固定在反应罐上。
[0004]优选的,所述振动装置包括固定在所述盖板下表面的电机,所述电机的输出轴通过销轴连接有第一连接臂的一端,所述第一连接臂的另一端通过销轴旋转固定连接有第二连接臂,所述第二连接臂通过销轴旋转固定在固定座上,所述固定座固定在一号板的上表面,所述一号板通过弹簧连接二号板,所述二号板上设置有驱动电机,所述驱动电机的输出轴连接所述搅拌杆。
[0005]优选的,所述一号板下表面设置有贯穿杆贯穿二号板,所述贯穿杆远离一号板的一端设置有圆盘端,所述圆盘端与所述二号板间设置有第二弹簧,所述贯穿杆设置多个。
[0006]优选的,所述贯穿杆设置两个。
[0007]优选的,所述盖板下表面设置有安装架,所述电机固定在安装架上。 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种显影液用二次反应罐,其特征在于,包括支撑座,所述支撑座上固定有反应罐,所述反应罐的底部设置有出液口,所述反应罐的上方设置盖板,所述盖板的下方设置有振动装置,所述振动装置下设置有搅拌杆,所述盖板通过螺栓固定在反应罐上;所述振动装置包括固定在所述盖板下表面的电机,所述电机的输出轴通过销轴连接有第一连接臂的一端,所述第一连接臂的另一端通过销轴旋转固定连接有第二连接臂,所述第二连接臂通过销轴旋转固定在固定座上,所述固定座固定在一号板的上表面,所述一号板通过弹簧连接二号...
【专利技术属性】
技术研发人员:邵暾,
申请(专利权)人:苏州费米苏路兴电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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