【技术实现步骤摘要】
一种钝化CdTe太阳电池及其制造方法
[0001]本专利技术属于光伏电池
,特别是涉及一种钝化CdTe太阳电池及其制造方法。
技术介绍
[0002]碲化镉(CdTe)太阳能电池理论光电转化效率高达28%,具有制作方便、质量轻、制造成本低及光电性能优异等优势,具有广阔的发展空间。CdTe太阳电池以p型CdTe和n型CdS/CdSe的异质结为基础,可吸收95%以上的阳光。一般CdTe太阳能电池包括:透光支撑衬底,主要对CdTe太阳能电池起支架、防止污染和入射太阳光的作用;透明导电氧化层,主要起透光和导电的作用;CdS/CdSe缓冲层,提供n型半导体;CdTe吸收层,作为主体吸光层,并与n型的CdS窗口层形成p
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n结;背接触层和背电极,引出电流。对CdTe太阳电池的效率优化需要钝化减少载流子复合以提升开压,降低串阻提升短路电流,结构设计获得良好的光吸收,因此,开发一种提升光吸收的钝化CdTe太阳电池结构实属必要。
技术实现思路
[0003]鉴于以上所述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种钝化CdTe太阳电池的制造方法,其特征在于,包括步骤:1)提供一个带有透明底电极的透明衬底层,在所述透明底电极上通过掩膜溅射窗口层材料,所述掩膜为采用带有均匀密集小孔的掩模版,小孔直径1~10μm,小孔间距1~10μm,以在所述透明底电极上形成均匀密集的窗口层材料凸起;2)在所述带有均匀密集的窗口层材料凸起的透明底电极上沉积CdS/CdSe缓冲层;在CdS/CdSe缓冲层上沉积CdTe光吸收层,通过活化退火工序对所述CdTe光吸收层进行活化退火处理;3)在所述CdTe光吸收层上沉积一层背接触层;4)采用第一激光器刻线,刻断透明底电极、窗口层、缓冲层和光吸收层,将整个膜层分割为多个电池单元;5)涂覆光刻胶,经过衬底方向紫外光曝光显影,以填充第一激光器的刻线;6)清洗未曝光光刻胶,采用第二激光器在每个紧邻第一激光器刻线处旁边刻线,刻断窗口层、缓冲层和光吸收层;7)在整个膜面沉积背电极;8)采用第三激光器在每个紧邻第二激光器刻线处旁边刻线,刻断缓冲层、光吸收层和背电极,所述第一激光器、第二激光器和第三激光器刻线依次排列,得到多个电池单元串联的CdTe太阳电池。2.根据权利要求1所述的钝化CdTe太阳电池的制造方法,其特征在于:所述透明衬底层为超白玻璃基板、钢化玻璃基板、有机玻璃基板;所述底电极的材料为ITO导电膜层、FTO导电膜层和AZO导电膜层中的一种。3.根据权利要求1所述的钝化CdTe太阳电池...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭寿,马立云,汪元元,殷新建,吴一民,陈瑛,储静远,盖琳琳,
申请(专利权)人:中国建材国际工程集团有限公司,
类型:发明
国别省市:
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