本实用新型专利技术公开了一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台和置于探针安装平台上的探针安装座，探针固定于探针安装座上，探针安装座上连接有用于调节探针安装座高度和角度的调节装置，调节装置包括呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构；升降调节机构包括顶端连接有微分头且底端置于探针安装平台上的伸缩支杆；本实用新型专利技术的探针安装基座，通过呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构，实现探针安装座高度和角度的调节，使得安装在探针安装座上的探针获得需要的姿态，满足量子钻石原子力显微镜中探针对样品进行扫描。对样品进行扫描。对样品进行扫描。
【技术实现步骤摘要】
一种具有角度调节功能的探针安装基座
[0001]本技术属于量子钻石原子力显微镜领域，更具体的说涉及一种具有角度调节功能的探针安装基座。
技术介绍
[0002]QDAFM(量子钻石原子力显微镜)的测样动作是探针在样品表面进行扫描，探针结构精细，为保证扫描过程中探针不至于撞坏在样品表面，就要求探针具有合适的姿态。实际由于加工和装配误差，探针初始姿态往往很难达到测试的要求。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种具有角度调节功能的探针安装基座，实现对探针测试时的姿态进行调节，以满足探针对样品进行扫描。
[0004]本技术技术方案一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台和置于所述探针安装平台上的探针安装座，探针固定于所述探针安装座上，所述探针安装座上连接有用于调节所述探针安装座高度和角度的调节装置，所述调节装置包括呈三角形排列布置在所述探针安装座上的三升降调节机构；所述升降调节机构包括顶端连接有微分头且底端置于所述探针安装平台上的伸缩支杆；
[0005]所述伸缩支杆底部设置为球头，所述探针安装平台上设置有圆锥形盲孔，所述球头置于所述圆锥形盲孔内。
[0006]优选地，所述微分头包括与所述伸缩支杆顶部固定的微分筒和套设在所述伸缩支杆外部的固定套管，所述固定套管与所述伸缩支杆螺接，所述探针安装座与所述固定套管固接；通过旋动所述微分筒和伸缩支杆，带动所述固定套管沿伸缩支杆轴线方向移动。
[0007]优选地，所述固定套管底端穿过所述探针安装座并固接有固定螺母，所述固定螺母将所述探针安装座锁定在所述固定套管上。
[0008]优选地，所述固定套管上沿径向方向设置有锁紧螺栓，所述锁紧螺栓穿过所述固定套管实现所述伸缩支杆锁定。
[0009]优选地，所述探针安装座为三角板，三升降调节机构分别布置在三角板的三个顶角位置，所述探针设置在三角板内侧面上，所述探针安装平台上设置有朝向探针的观察窗。
[0010]本技术技术方案的一种具有角度调节功能的探针安装基座的有益效果是：通过呈三角形排列布置在探针安装座上的三升降调节机构，实现探针安装座高度和角度的调节，实现探针安装座在空间上六自由度的调节，使得安装在探针安装座上的探针获得需要的姿态，满足量子钻石原子力显微镜中探针对样品进行扫描。
附图说明
[0011]图1本技术方案的一种具有角度调节功能的探针安装基座结构示意图，
[0012]图2为升降调节机构结构示意图；
[0013]图3为伸缩支杆与探针安装座连接示意图。
具体实施方式
[0014]为便于本领域技术人员理解本技术技术方案，现结合说明书附图对本技术技术方案做进一步的说明。
[0015]如图1和图2所示，本技术技术方案一种具有角度调节功能的探针安装基座，包括探针安装平台7和置于探针安装平台7上的探针安装座5，探针6固定于探针安装座5上。探针安装平台7上设置有朝向探针6的观察窗，探针6由观察窗位置对置于探针安装平台7下部的样品进行扫描。
[0016]探针安装座5上连接有用于调节探针安装座5高度和角度的调节装置，调节装置包括呈三角形排列布置在探针安装座5上的三升降调节机构。升降调节机构包括顶端连接有微分头1且底端置于探针安装平台7上的伸缩支杆3。
[0017]基于上述技术方案，升降调节机构的调节方式是旋动微分头1。微分头1是螺旋测微计的主体部分，属于现有技术，在旋动微分头1时，伸缩支杆3向前伸或向后缩，通过旋转实现对与其连接的伸缩支杆3微量移动的调节，调剂精度高。
[0018]本技术方案中，微分头1、伸缩支杆3和探针安装座5的连接如图3所示。微分头1包括与伸缩支杆3顶部固定的微分筒12和套设在伸缩支杆3外部的固定套管11。固定套管11与伸缩支杆3螺接，探针安装座5与固定套管11固定连接。旋动微分筒12，此时伸缩支杆3带动固定套管11沿伸缩支杆3轴线方向移动。即实现了探针安装座位置的调节。又因伸缩支杆3底部通过球头4插入安装平台7的圆锥形盲孔8内，伸缩支杆3能够倾斜，微分筒12以及固定套管11上均刻有刻度，通过三微分筒12旋进刻度的调整，即实现了探针安装座5倾斜角度的调节。即三升降调节机构共同作用，实现探针安装座5姿态的调节，即间接实现探针工作姿态的调节。
[0019]如图3所示，固定套管11底端穿过探针安装座5并固接有固定螺母9，固定螺母9将探针安装座5锁定在固定套管11上。固定套管11底端具有一段探针安装座的连接段，探针安装座的连接段穿过探针安装座5并在探针安装座的连接段的上下位置分别设置垫片10和固定螺母9，将探针安装座5固定在固定套管11上，实现探针安装座5和固定套管11的连接。
[0020]如图3，固定套管11上沿径向方向设置有锁紧螺栓2，锁紧螺栓2穿过固定套管11实现伸缩支杆3锁定，避免固定套管11和伸缩支杆3再发生旋转，探针安装位置的精度。
[0021]本技术方案中，伸缩支杆3底部设置为球头4，探针安装平台7上设置有圆锥形盲孔8，球头4置于圆锥形盲孔8内。因三升降调节机构共同实现探针安装座5姿态的调节，在调节中，若三伸缩支杆3伸缩高度不一致，伸缩支杆3和探针安装座5则会出现倾斜的状态，这时，因圆锥形盲孔8和球体4结构的设计，调整伸缩支杆时锥形孔相较于柱型圆孔在发生干涉之前的倾斜角度更大，进而赋予探针安装座更大的调整角度。三个球头4的球面始终与圆锥形盲孔8内壁保持点接触，减小摩擦力，圆锥形盲孔8的内壁斜面使伸缩支杆3的球头4在重力的作用下会有滑向圆锥形盲孔8底部的趋势，使得三个伸缩支杆3组成的探针安装座5在重力作用下具有自稳功能，避免出现间隙滑移。可以有效的确保探针安装座5任意姿态的调节，可以实现将探针调整至测样所需要的最佳姿态，且调整完后通过锁紧螺栓2进行锁定，伸缩支杆3调节好的位置不会发生变化。
[0022]本技术方案中，探针安装座5为三角板，为便于探针安装，三角板为具有一缺失边的结构，便于观察探针6。三升降调节机构分别布置在三角板的三个顶角位置，探针6设置在三角板内侧面上，三角板结构的设计，便于探针6的安装。
[0023]本技术技术方案在上面结合附图对技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性改进，或未经改进将技术的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有角度调节功能的探针安装基座，其特征在于，包括探针安装平台和置于所述探针安装平台上的探针安装座，探针固定于所述探针安装座上，所述探针安装座上连接有用于调节所述探针安装座高度和角度的调节装置，所述调节装置包括呈三角形排列布置在所述探针安装座上的三升降调节机构；所述升降调节机构包括顶端连接有微分头且底端置于所述探针安装平台上的伸缩支杆；所述伸缩支杆底部设置为球头，所述探针安装平台上设置有圆锥形盲孔，所述球头置于所述圆锥形盲孔内。2.根据权利要求1所述的一种具有角度调节功能的探针安装基座，其特征在于，所述微分头包括与所述伸缩支杆顶部固定的微分筒和套设在所述伸缩支杆外部的固定套管，所述固定套管与所述伸缩支杆螺接，所述探针安装座与所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐春风，许克标，张伟杰，
申请(专利权)人：国仪量子合肥技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。