一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台制造技术

本发明专利技术属于三维原子探针设备领域，具体的说是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆；通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率。提高了对硅片安放的安全效率。提高了对硅片安放的安全效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台


[0001]本专利技术涉及三维原子探针设备领域，具体是一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台。

技术介绍

[0002]硅片的应用范围很广泛，可以应用到三维原子探针技术的三维空间近原子分辨率和较高的质量分辨率上，使其能够完成三维元素的映射。
[0003]目前的三位原子探针技术，需要使用到硅片，通过将硅片从硅片盒中转移到铜夹子中，铜夹子为三维原子探针设备的一个部件，主要用于固定硅片。
[0004]硅片在更换和转移时，需要一个人负责用镊子使铜夹子保持打开状态，另一个人负责将硅片从硅片盒中转移到铜夹子中，由于在此过程中是人工操作，可能会出现失误导致硅片从工作人员手中掉落，导致硅片掉落造成巨大的经济损失，因此，针对上述问题提出一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台。

技术实现思路

[0005]为了弥补现有技术的不足，解决可能会出现失误导致硅片从工作人员手中掉落，导致硅片掉落造成巨大的经济损失的问题，本专利技术提出一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台。
[0006]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器；所述固定器顶端固定连接有圆盘，所述圆盘的顶端固定安装有铜夹子，所述固定器的顶端放置有转移台本体，所述转移台本体的一侧呈弧形，所述转移台本体的顶端开设有凹槽，所述转移台本体的一侧螺纹连接有丝杆，所述丝杆卡接凹槽的一端固定连接有推板，所述推板的底端与凹槽贴合，通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率，硅片放置完成后，转动丝杆，使得丝杆带动推板回到原位。
[0007]优选的，所述转移台本体的滑动连接有滑杆，所述滑杆的一端固定连接有调节板，所述滑杆的表面固定连接有连接盘，所述连接盘的一侧固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离连接盘的一端与转移台本体固定连接，先拉动滑杆，使得滑杆带动调节板进行滑动，然后将硅片放置在凹槽内，然后松开滑杆时，使得第一弹簧因为弹力的恢复拉动连接盘，此时连接盘会带动滑杆进行滑动，从而使滑杆推动调节板，此时调节板会推动硅片，从而使硅片与凹槽的侧壁相接触，之后再使用推板对硅片进行推动，起到了将硅片定位在凹槽内的作用，提高了硅片在凹槽内的稳定性，避免了较小的硅片安放到放置槽内时，使用推板推动硅片，硅片容易出现晃动的情况。
[0008]优选的，所述转移台本体的顶端螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面固定连接有连接线，所述连接线远离螺纹杆的一端与滑杆固定连接，通过转动螺纹杆，使得连接线缠绕在螺纹杆上，此时连接线会拉动滑杆，当滑杆移动到合适位置后，停止转动螺纹杆，起到了对滑杆进行移动和定位的作用。
[0009]优选的，所述螺纹杆的顶端焊接有摇杆，所述摇杆呈“Z”字形，通过转动摇杆，使得摇杆带动螺纹杆进行转动，起到了方便对螺纹杆进行转动的作用。
[0010]优选的，所述转移台本体的顶端转动连接有两个转轴，所述转轴的表面固定连接有限位板，通过转动限位板，使得限位板带动转轴进行转动，使得限位板从凹槽上方移开，然后将硅片安放到凹槽内，然后转动限位板，使得限位板挡住硅片上方，避免了在将转移台本体安放到固定器上时，转移台本体可能与转移台本体发生碰撞，从而硅片可能被从凹槽内撞出。
[0011]优选的，所述转移台本体的一侧固定连接有两个固定块，所述固定块内滑动连接有连接杆，所述连接杆呈“L”形，且连接杆的短臂端固定连接有卡块，所述转轴的顶端开设有卡槽，所述卡块与卡槽的内壁卡接，通过拉动连接杆，使得连接杆带动卡块向上滑动，从而使卡块从卡槽内滑出，然后再对限位板进行转动，此时限位板会带动转轴进行转动，当需要对限位板进行固定时，转动转轴，使得转轴回到原位，然后推动连接杆，使得卡块与卡槽卡接，此时转轴会被固定住，进而使限位板被固定住。
[0012]优选的，所述连接杆有两个，两个所述连接杆的表面固定连接有连接板，通过拉动连接板，使得连接板带动两个连接杆进行滑动，起到了同时对两个连接杆进行滑动。
[0013]优选的，所述连接杆的表面固定连接有磁块，所述磁块的底端与固定块磁性连接，所述固定块为铁制成，通过推动连接杆，使得连接杆带动磁块进行滑动，此时磁块会与固定块相接触并磁吸，从而使连接杆被固定住。
[0014]本专利技术的有益之处在于：
[0015]1.通过使用镊子将硅片安放到凹槽内，然后将转移台本体安放到固定器上，并且让转移台本体的弧形面与圆盘贴合，此时凹槽会与铜夹子处于同一水平面，然后转动丝杆，使得丝杆带动推板进行滑动，从而使推板推动凹槽内的硅片，此时硅片会借助推板的推力被放置到铜夹子上，起到了对硅片进行放置的作用，提高了对硅片安放的安全效率。
[0016]2.通过拉动滑杆，使得滑杆带动调节板进行滑动，然后将硅片放置在凹槽内，然后松开滑杆时，使得第一弹簧因为弹力的恢复拉动连接盘，此时连接盘会带动滑杆进行滑动，从而使滑杆推动调节板，此时调节板会推动硅片，从而使硅片与凹槽的侧壁相接触，之后再使用推板对硅片进行推动，起到了将硅片定位在凹槽内的作用，提高了硅片在凹槽内的稳定性。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0018]图1为实施例一固定器的结构示意图；
[0019]图2为转移台本体的结构示意图；
[0020]图3为图2的A处结构示意图；
[0021]图4为图2的后视结构示意图；
[0022]图5为实施例二支撑架的结构示意图。
[0023]图中：1、固定器；2、圆盘；3、铜夹子；4、支撑架；5、转移台本体；6、丝杆；7、推板；8、凹槽；9、滑杆；10、连接盘；11、第一弹簧；12、连接线；13、螺纹杆；14、摇杆；15、调节板；16、固定块；17、磁块；18、连接杆；19、卡块；20、卡槽；21、限位板；22、转轴；23、连接板。
具体实施方式
[0024]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0025]实施例一
[0026]请参阅图1
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4所示，一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，包括固定器1；所述固定器1顶端固定连接有圆盘2，所述圆盘2的顶端固定安装有铜夹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，其特征在于：包括固定器(1)；所述固定器(1)顶端固定连接有圆盘(2)，所述圆盘(2)的顶端固定安装有铜夹子(3)，所述固定器(1)的顶端放置有转移台本体(5)，所述转移台本体(5)的一侧呈弧形，所述转移台本体(5)的顶端开设有凹槽(8)，所述转移台本体(5)的一侧螺纹连接有丝杆(6)，所述丝杆(6)卡接凹槽(8)的一端固定连接有推板(7)，所述推板(7)的底端与凹槽(8)贴合。2.根据权利要求1所述的一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，其特征在于：所述转移台本体(5)的滑动连接有滑杆(9)，所述滑杆(9)的一端固定连接有调节板(15)，所述滑杆(9)的表面固定连接有连接盘(10)，所述连接盘(10)的一侧固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)远离连接盘(10)的一端与转移台本体(5)固定连接。3.根据权利要求2所述的一种用于安装时转移硅片的推拉式转移台，其特征在于：所述转移台本体(5)的顶端螺纹连接有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)的表面固定连接有连接线(12)，所述连接线(12)远离螺纹杆(13)的一端与滑杆(9)固定连接。...

【专利技术属性】
技术研发人员：沙刚，王君，孔洋，靳慎豹，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：