【技术实现步骤摘要】
一种包裹二维材料的原子力显微镜探针制备方法
[0001]本专利技术涉及原子力显微镜探针的修饰与加工
,具体而言,涉及一种包裹二维材料的原子力显微镜探针的制备方法。
技术介绍
[0002]原子力显微镜利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力,从而达到检测的目的,具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体,也可以观察非导体,从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。原子力显微镜探针的工作模式主要分为接触模式和轻敲模式,探针的结构一般包括悬臂梁和针尖探针等几部分。探针的针尖主导着原子力显微镜的性能,常以半导体工艺制作,常规以硅,氮化硅为基础材料制成,利用金属沉积,溅射等镀金属层改善导电或增加新的性能;近年来,对原子力显微镜针尖的修饰和加工受到了越来越多的关注,利用各种低维材料的特殊性能制备得到的各种具有新的功能,较好的图像质量的原子力显微镜探针满足了科研工作在某些领域的特殊要求。
[0003]近年来,二维材料由于其独特的物理、电子和化学性质,引起广泛关注。二维材料强烈的面内共价键和原子层厚度使得其具 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种包裹二维材料的原子力显微镜探针制备方法,其特征在于,包括:(1)通过原子力显微镜的横向力模块扫描二维材料层,使探针与二维材料层接触,(2)通过摩擦转移,将二维材料层直接吸附在原子力显微镜探针针尖上,得到二维材料层均匀包裹在针尖底部的探针,其中,所述二维材料层为嵌锂二硫化钼薄层,所述嵌锂二硫化钼层的制备方法如下:(2
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1)通过化学气相沉积法制备二硫化钼层;(2
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2)利用湿法转移将二硫化钼层转移至镀铂的硅基底上;(2
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3)通过化学插锂的方法形成带锂的二硫化钼样品。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,包括:在使用原子力显微镜的横向力模块进行扫描时,“Scan Size”选择20μm,“Scan Rate”选择2.44Hz,“Setpoint”选择0.5V。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2
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1)中,所述化学气相沉积法制备二硫化钼层所用真空装置是成品高温管式炉,设置目标温度800℃,达到目标温度所需要的时间40分钟。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤(2
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2)中,所述湿法转移需要用到质量分数为12%的聚甲基...
【专利技术属性】
技术研发人员:彭金峰,李立豪,郑学军,陈珊,苏亮,王鹏,
申请(专利权)人:湘潭大学,
类型:发明
国别省市:
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