【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及，特别是涉及具有高压电极和低压电极，在电极间施加交流电压产生放电，高效地生成臭氧气体的。更特别涉及可获得纯净的臭氧气体的无氮或抑氮的。
技术介绍
以下，展开介绍一下以往的各种技术。文献1所述的技术是臭氧发生器中，由第1原料供给系统、第2原料供给系统供给原料，在电极间施加高电压的交流电压，使电极间通过电介质产生无声放电(电介质阻挡放电)，将原料气体转变成臭氧气体，上述第1原料供给系统是由纯度99.995％以上的氧气储气瓶供给规定流量，第2原料供给系统是按规定流量供给纯度99.99％以上的第2原料气体(氮气、氦气、氩气或二氧化碳)。关于臭氧浓度经时下降的现象的原因还不清楚，但是发现如下现象，即采用高纯度氧气时，在发生装置中一次生成的臭氧气体会出现经时下降，作为抑制该经时下降的手段，向高纯度氧气中添加氮气等被认为是一种有效的方法。文献2所述的技术要点是将臭氧装置的原料气体氧气和氮气的混合比设定为1∶0.0002(200ppm)～0.0033(3300ppm)。在文献2的图2中示出了氮气的添加量和臭氧发生装置所得的臭氧浓度的特性，据该文献所述，按可获得足...
【技术保护点】
无氮臭氧发生装置，其特征在于，具有第１电极、与上述第１电极相对，形成具有间隙的放电区域的第２电极、供给作为原料气体的氧气的原料气体供给手段、设于上述放电区域的电介质或上述电极上，含有带隙为２．０ｅＶ～２．９ｅＶ的光催化物质的催化物质；由电源在上述第１电极和上述第２电极间施加交流电压，向上述放电区域输入放电能量，由上述原料气体供给手段向上述放电区域供给氧气，通过放电向上述催化物质照射至少具有４２８ｎｍ～６２０ｎｍ的光波长的放电光，激发上述催化物质，使通过上述放电区域的上述氧气离解成氧原子，并且将上述氧气通过的上述放电区域的气压保持在０．１ＭＰａ～０．４ＭＰａ，对上述氧气和上述...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：田畑要一郎，冲原雄二郎，石川政幸，西津彻哉，四元初男，
申请(专利权)人：东芝三菱电机产业系统株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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