一种在线热氧上料设备制造技术

本实用新型专利技术所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，上料检测部分用于接收上一工序的来料并完成自动检测，硅片重组存储部分用于将合格的硅片进行重新排列，硅片流出部分用于将排列后的硅片流入下一工序。本实用新型专利技术的在线热氧上料设备，对前端工序和后端工序进行无缝衔接，省略传统技术中花篮的转运过程，提高生产效率，减少运输损耗，降低生产成本，提高整体的生产效率。提高整体的生产效率。提高整体的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种在线热氧上料设备


[0001]本技术属于太阳能电池生产领域，具体涉及一种在线热氧上料设备。

技术介绍

[0002]目前硅片生产过程中，常规制造晶体硅太阳能电池包括制绒、扩散、热氧、清洗刻蚀、PECVD、丝网印刷工序等。其中，在电池片的热氧工序中，通常使用的是运用花篮进行上下料倒篮；现有的技术为，硅片激光下料机在对硅片表面进行处理后，需要把处理后的每片硅片先收集到花篮里，在通过花篮运送到下一道工序热氧设备；在此过程中涉及到花篮的运输以及硅片的收集和放置，过程复杂，损耗高，效率低。

技术实现思路

[0003]技术目的：本技术旨在提供一种能够省略花篮转运工序的在线热氧上料设备，提高生产效率。
[0004]技术方案：本技术所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，
[0005]所述硅片上料检测部分包括第一硅片输送机、第二硅片输送机和硅片检测机构，所述第一硅片输送机用于接收从激光下料设备流入在线热氧上料设备的硅片，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，其特征在于，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分和硅片流出部分，所述硅片上料检测部分包括第一硅片输送机(1)、第二硅片输送机(2)和硅片检测机构(3)，所述第一硅片输送机用于接收从激光下料设备流入在线热氧上料设备的硅片(15)，所述第二硅片输送机与第一硅片输送机直线对接，硅片检测机构设置在第二硅片输送机与第一硅片输送机连接位置的上方；所述硅片重组存储部分包括第三硅片输送机(6)、若干第四硅片输送机(7)和吸取移栽机构(8)，所述第三硅片输送机由N个独立的硅片输送机单元沿硅片传输方向直线排列组成，第三硅片输送机前端与第二硅片输送机末端直线对接，每个独立的硅片输送机单元可以容纳1PCS硅片，每个所述第四硅片输送机均与第三硅片输送机平行排列，且可容纳NPCS硅片，所述吸取移栽机构设置于第三硅片输送机的上方且可跨各个第四硅片输送机移动，吸取移栽机构上设有与第三硅片输送机上N个硅片一一对应的N个吸盘组件(9)，所述N≥1；所述硅片流出部分包括第六硅片输送机(11)，所述第六硅片输送机包括N+1个硅片输送机单元，每个第四硅片输送机的末端对接一个第六硅片输送机的硅片输送机单元，第三硅片输送机的末端对接一个第六硅片输送机的硅片输送机单元。2.根据权利要求1所述的在线热氧...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋旭东，张弛，王志刚，顾建，王四海，
申请(专利权)人：南京卓胜自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：