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本实用新型所述的一种在线热氧上料设备，所述在线热氧上料设备前端对接激光下料设备，后端对接硅片热氧设备，包括硅片上料检测部分、硅片重组存储部分、硅片流出部分，上料检测部分用于接收上一工序的来料并完成自动检测，硅片重组存储部分用于将合格的硅片进...
该专利属于南京卓胜自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京卓胜自动化设备有限公司授权不得商用。

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