一种探针卡针脚修复整形装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构。通过上述方式，本实用新型专利技术提供一种探针卡针脚修复整形装置，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。成功率高等特性。成功率高等特性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡针脚修复整形装置


[0001]本技术涉及探针卡加工装置领域，尤其涉及一种探针卡针脚修复整形装置。

技术介绍

[0002]探针卡上有很多针脚，针脚在使用过程中可能受力变形弯曲，异位的针脚无法再与芯片触点对位，导致使用中测不到电极而无法完成程序写入。探针卡针脚大小约20～30μm，对异位针脚实施修复整形的操作难度大，成功率低，导致探针卡报废率较高。

技术实现思路

[0003]本技术主要解决的技术问题是提供一种探针卡针脚修复整形装置，在探针卡针脚位稳定加载麦拉片，在显微镜光路上建立基准的触点参考点位，通过不断对触点点位位置与针脚的对比观察，能快速找出异位针脚并校准修复，整形后的探针卡即可快速恢复正常使用，具有操作方便、成功率高等特性。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种探针卡针脚修复整形装置，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构，所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座，所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架，所述探针卡托架集成有气动夹具，所述探针卡托架之间竖直向下布置有设置在镜座上的显微镜，所述显微镜镜头处外挂有折射补偿机构，所述折射补偿机构的正下方水平布置有麦拉片载具，所述麦拉片载具设置在水平布置的光轴的一端外周面，所述光轴通过校准机构活动架设在麦拉校准座上。2.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述镜座由支架和三轴滑台组成，所述支架顶端安装有三轴滑台，所述三轴滑台上安装有显微镜。3.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述折射补偿机构由挂板、加载气缸、补偿滑板组成，所述挂板设置在显微镜镜头处，所述挂板的底面设置有由加载气缸驱动的补偿滑板，所述补偿滑板上设置有折射补偿玻璃片卡槽，所述折射补偿玻璃片卡槽匹配在所述显微镜的光路上。4.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述气动夹具由探针卡压板和升降气缸组成，所述升降气缸竖直向上内嵌于探针卡托架内，所述探针卡压板水平设置在探针卡托架的正上方并且与升降气缸相连。5.根据权利要求1所述的探针卡针脚修复整形装置，其特征在于，所述校准机构由三轴微调平台、转接板、轴承、拨轮、同步凸轮、检测开关组...

【专利技术属性】
技术研发人员：万士元，沈达，钱宇，
申请(专利权)人：吾拾微电子苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：