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本实用新型公开一种探针卡针脚修复整形装置,包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构,所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座,所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架,所述探针卡托架...该专利属于吾拾微电子(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过吾拾微电子(苏州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种探针卡针脚修复整形装置,包括作业台、镜座、麦拉校准座、探针卡托架、气动夹具、显微镜、折射补偿机构、麦拉片载具、光轴、校准机构,所述作业台外侧配套设置镜座和麦拉校准座,所述作业台台面两侧对称布置一对探针卡托架,所述探针卡托架...