大尺寸平面靶材摆放台制造技术

本实用新型专利技术提供一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板，底板上设有放置台，放置台上侧表面设有通孔，放置台内设有导向架，导向架上活动安装有支撑柱，支撑柱上端穿过通孔伸出放置台表面，支撑柱上设有限位块，限位块设置在放置台下侧，支撑柱上套设有弹簧，弹簧设置在导向架和限位块之间。通过放置台下侧设有支撑柱，支撑柱从通孔中穿出贴合在靶材下侧，从下侧对靶材支撑，使靶材下侧各处都有支撑力进行支撑，减少了靶材的断裂，结构简单，使用方便。使用方便。使用方便。

【技术实现步骤摘要】
大尺寸平面靶材摆放台


[0001]本技术涉及靶材生产加工设备领域，尤其涉及一种大尺寸平面靶材摆放台。

技术介绍

[0002]ITO(Tin
‑
doped Indium Oxide)靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷，是一种重要的光电功能材料，常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜，用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。ITO平面靶材应用于平板显示领域，随着平板显示屏不断做大，对ITO平面靶材的尺寸要求也逐步变大。靶材的生产过程中需要经过靶材的加热，靶材的翻转运送，以及靶材的放置，此过程中就需要用到放置台设备。专利号CN209717675U公开了一种靶材用放置台，通过将靶材放置在承重板上，通过对承重板产生压迫作用，使得套接管向下移动，使得承重板之间能形成靶材的凹陷区区域，从而对靶材进行进行固定，可以有效的对靶材进行放置固定，但是在平面大靶材烧结后，放置在平整的桌面上，无法绝对的水平，靶材本身存在着一定程度的曲翘，非常容易断裂，靶材凹处着地，凸处悬空，靶材材质特性脆，长时间摆放在平整的桌面上，靶材会因为自身的重量断裂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸平面靶材摆放台，包括底板（1），底板（1）上设有放置台（2），其特征在于，放置台（2）上侧表面设有若干通孔（3），放置台（2）内设有导向架（4），导向架（4）上活动安装有若干支撑柱（5），支撑柱（5）上端穿过通孔（3）伸出放置台（2）表面，支撑柱（5）上设有限位块（6），限位块（6）设置在放置台（2）下侧，支撑柱（5）上套设有弹簧（14），弹簧（14）设置在导向架（4）和限位块（6）之间。2.如权利要求1所述的大尺寸平面靶材摆放台，其特征在于：放置台（2）侧边上设有调节槽（7），调节槽（7）上设有调节螺栓（8），调节螺栓（8）与导向架（4）连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾探，王志强，石煜，马建保，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：