【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种新型复合型光波导器件及制备，这种光波导在激光倍频；特别是作为小型半导体激光器的倍频器方面的应用。光波导分为折射率渐变型(用杂质离子扩散制备，波导与衬底为同种材料)和折射率跃变型(用外延技术制备，波导层与衬底为不同材料)。光波导用于激光倍频优点是1.对光的限制强，倍频效率高；2.可同时使用双折射与模色散补偿频率色散，扩展了有效倍频所需的位相匹配频率范围。但波导做为倍频器也有许多技术困难。最主要的困难之一是导模的有折射率Neff对光波导层膜厚度非常敏感，用模色散实现相匹配需要均匀的膜厚，一般情况下，由于制备不当造成的膜厚的微小涨落或不均匀都可能引起位相严重失配而导致倍频效率的下降。理论计算表明在1cm长的光波导中，如果有效折射率有10-4大小的起伏，就可导致倍频效率下降20％。而现有的外延制膜技术要使膜的均匀性达到这一标准仍有相当大的困难。要解决这一问题的技术方案有两种一是着手设备与工艺的进一步更新，以制备均匀性更好的光波导薄膜。二是利用外延薄膜，波导层与衬底为不同材料这一特点，选用线性极化率不同的材料的恰当组合以实现倍频过程的非临界位相匹配，...
【技术保护点】
一种非临界位相匹配的光波导材料，其特征是选用具有大非线性系数ｄ↓［１３］，高折射率的Ｂａ↓［２］ＮａＮｂ↓［５］Ｏ↓［１５］（ＢＮＮ）为外延薄膜材料而采用低折射率，低色散的ＫＴ：ＯＰＯ↓［４］为衬底材料，在光波导中以实现激光倍频的非临界位相匹配和激光倍频输出。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊民，朱永元，祝世宁，刘治国，闵乃本，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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