【技术实现步骤摘要】
本申请涉及扫描电镜的，特别涉及一种八极静电偏转系统的电极设计方法、装置及电子设备。
技术介绍
1、随着空间探测任务的不断深入，我们将面临更多未知的行星天体表面特征和环境条件。过去的空间探测任务通常采用采样返回，在地面实验室中利用扫描电子显微镜等实验设备对样品的表面形貌进行分析。这种方式在一定程度上限制了样品分析的数量，对样品保存也提出了较高的要求，提高了样品分析的成本。面向航天应用的小型化电子扫描显微镜的设计和应用，将改变过去的常规方式，实现行星天体表面原位成像、空间站舱内实验等多个应用场景，与地面实验室协同合作，提高了分析和探测的效率，为我们在深空探测过程中探索未知领域提供新的手段和途径。
2、传统的扫描电子显微镜采用磁透镜与静电透镜相结合的方案，很难实现小型化以满足航天应用，而全静电透镜的小型化扫描电镜可满足航天应用的需求。
3、r.h.roberts(1997)等人设计了一种小型全静电双透镜场发射电子枪(nanofeg)，总长度为225mm，可以在10mm的工作距离上为样品提供可调的0.1-15kev能量的...
【技术保护点】
1.一种八极静电偏转系统的电极设计方法，其特征在于，八极静电偏转系统适用于空间探测的扫描电镜，扫描电镜包括八极静电偏转系统和光学系统，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据电极参数模型、预设参数组和电极内径候选值确定对应的电极厚度候选值，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所有记录的每个测试参数组和对应的各个电子束偏转角度仿真值进行建模分析，以得到电极参数模型，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在构建的偏转...
【技术特征摘要】
1.一种八极静电偏转系统的电极设计方法，其特征在于，八极静电偏转系统适用于空间探测的扫描电镜，扫描电镜包括八极静电偏转系统和光学系统，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据电极参数模型、预设参数组和电极内径候选值确定对应的电极厚度候选值，包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所有记录的每个测试参数组和对应的各个电子束偏转角度仿真值进行建模分析，以得到电极参数模型，包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在构建的偏转系统仿真模型中，所述偏转系统包括偏转电极，在偏转电极的入射端和出射端均设有保护电极，在偏转系统的外壳上连接接地电缆；其中，
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将不同的多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：张紫嫣，孔令高，张之谦，浦柏渠，宋一凡，邱晔，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：
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