一种化学气相沉积炉的尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体和上盖，壳体内设有冷凝腔室，壳体的顶部设有与冷凝腔室连通的开口，上盖盖设在开口上，壳体的相对两侧分别设有与冷凝腔室连通的进气口和排气口；上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，且冷凝板位于进气口与排气口之间。本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室内的尾气中的焦油遇到冷凝板而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板上，从而去除尾气中的焦油。焦油。焦油。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉的尾气处理装置


[0001]本技术属于气相沉积
，特别涉及一种化学气相沉积炉的尾气处理装置。

技术介绍

[0002]炭
‑
炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭
‑
炭复合材料产品的质量有了更高的要求。
[0003]化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭
‑
炭复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉中通常设有工件放置台，工件放置在工件放置台上，通过气相沉积炉底部进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内，并发生热解后形成基体碳沉积于工件的内部或表面。
[0004]然而，气相沉积炉工作时产生的尾气中含有大量焦油，这些焦油排放到大气中会对环境造成污染。

技术实现思路

[0005]为了解决现有技术中存在的问题，本技术提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置。
[0006]本申请实施例提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体和上盖，所述壳体内设有冷凝腔室，所述壳体的顶部设有与所述冷凝腔室连通的开口，所述上盖盖设在所述开口上，所述壳体的相对两侧分别设有与所述冷凝腔室连通的进气口和排气口；
[0007]所述上盖的朝向所述冷凝腔室的一面上设有冷凝板，所述冷凝板朝所述冷凝腔室内延伸，且所述冷凝板位于所述进气口与所述排气口之间。
[0008]本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖的朝向冷凝腔室的一面上设有冷凝板，冷凝板朝冷凝腔室内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室内的尾气中的焦油遇到冷凝板而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板上，从而去除尾气中的焦油。
[0009]并且，由于冷凝板设置在上盖上，故需要清洗冷凝板时只需将上盖打开，使冷凝板从冷凝腔室内分离即可清洗，清洗起来较为方便。
[0010]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝腔室的底部设有接油盘。
[0011]这样，冷凝板上汇集的焦油在重力的作用下由冷凝板掉落到接油盘中，由接油盘收集这些焦油。
[0012]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述壳体的侧壁上设有连通所述冷凝腔室的插口，所述接油盘由所述插口插入到所述冷凝腔室
中。
[0013]这样，接油盘能够很方便的由插口插入到冷凝腔室中以及由冷凝腔室中抽出，当接油盘内的容纳的焦油过多时，通过将接油盘抽出能够便于倒掉焦油以及清洗接油盘。
[0014]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的形状为波浪形板。
[0015]波浪线板使得冷凝板与尾气有更大的接触面积，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结。
[0016]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的数量为多个，多个所述冷凝板之间呈间隔排布。
[0017]多个冷凝板能够同时与尾气接触，使尾气中的焦油更加充分的冷却凝结，提高焦油去除效率。
[0018]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述冷凝板的末端的两侧设有均设有导油斜面。
[0019]所述导油斜面能够使凝结在冷凝板末端的焦油更易汇聚以及更易掉落至接油盘中。
[0020]作为一种可实现的方式，本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，所述壳体的相对两侧分别设有扩散斗和聚气斗；
[0021]所述扩散斗的大径端连通所述冷凝腔室，所述扩散斗的小径端设有所述进气口；
[0022]所述聚气斗的大径端连通所述冷凝腔室，所述聚气斗的小径端设有所述排气口。
[0023]尾气由进气口通过扩散斗扩散，使尾气在冷凝腔室内更均匀的分布，并与冷凝板更充分接触，焦油去除后的尾气由聚气斗汇聚并由排气口排出。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本申请实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的结构示意图；
[0026]图2是本申请实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的爆炸示意图一；
[0027]图3是本申请实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置的爆炸示意图二；
[0028]图4是本申请实施例提供的化学气相沉积炉的尾气处理装置中上盖的仰视图；
[0029]图5是图2中A处的放大示意图。
[0030]附图标记说明：
[0031]1‑
壳体；11
‑
冷凝腔室；12
‑
扩散斗；13
‑
聚气斗；2
‑
上盖；3
‑
冷凝板；31
‑
导油斜面；4
‑
接油盘。
具体实施方式
[0032]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]参见图1
‑
5所示，本申请实施例提供一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，包括壳体1和上盖2，壳体1内设有冷凝腔室11，壳体1的顶部设有与冷凝腔室11连通的开口，上盖2盖设在开口上，壳体1的相对两侧分别设有与冷凝腔室11连通的进气口和排气口；
[0034]上盖2的朝向冷凝腔室11的一面上设有冷凝板3，冷凝板3朝冷凝腔室11内延伸，且冷凝板3位于进气口与排气口之间。
[0035]本申请实施例的化学气相沉积炉的尾气处理装置，在上盖2的朝向冷凝腔室11的一面上设有冷凝板3，冷凝板3朝冷凝腔室11内延伸，使由进气口进入到冷凝腔室11内的尾气中的焦油遇到冷凝板3而冷却凝液，从而附着并汇集在冷凝板3上，从而去除尾气中的焦油。
[0036]并且，由于冷凝板3设置在上盖2上，故需要清洗冷凝板3时只需将上盖2打开，使冷凝板3从冷凝腔室11内分离即可清洗，清洗起来较为方便。
[0037]本申请实施例中，冷凝腔室11的底部设有接油盘4。这样，冷凝板3上汇集的焦油在重力的作用下由冷凝板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的尾气处理装置，其特征在于，包括壳体和上盖，所述壳体内设有冷凝腔室，所述壳体的顶部设有与所述冷凝腔室连通的开口，所述上盖盖设在所述开口上，所述壳体的相对两侧分别设有与所述冷凝腔室连通的进气口和排气口；所述上盖的朝向所述冷凝腔室的一面上设有冷凝板，所述冷凝板朝所述冷凝腔室内延伸，且所述冷凝板位于所述进气口与所述排气口之间。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的尾气处理装置，其特征在于，所述冷凝腔室的底部设有接油盘。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的尾气处理装置，其特征在于，所述壳体的侧壁上设有连通所述冷凝腔室的插口，所述接油盘由所述插口插入到所述冷凝腔室中。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈志军，曹卫，康志卫，王伟，
申请(专利权)人：湖南诺沃科技有限公司，
类型：新型
国别省市：