【技术实现步骤摘要】
一种散热性能好的气相沉积炉
[0001]本技术属于气相沉积炉
，特别涉及一种散热性能好的气相沉积炉。
技术介绍
[0002]炭
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炭复合材料是碳纤维增强碳基体的一种高性能复合材料，具有强度高、耐腐蚀、可设计性强等特点，在航天、航空、交通等诸多领域已得到广泛应用，并随着社会的发展和科技的进步，对炭
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炭复合材料产品的质量有了更高的要求。
[0003]化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。化学气相沉积是一种被广泛应用于生产炭
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炭复合材料的工艺方法。现有的气相沉积炉或沉积系统，大多是从沉积炉的底部通过进气管路向沉积炉内通入碳源气体，碳源气体以一定的流量、流速直接通入到炉体内的沉积室的底部，并发生热解后形成基体碳沉积于坯体产品的内部或表面。
[0004]然而，现有的气相沉积炉通常为炉底散热，存在散热性能差...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管道和冷却介质出口管道；所述散热通道包括多个环绕于所述炉体的环形流道，多个所述环形流道沿所述炉体的延伸方向呈间隔分布，且相邻环所述形流道之间的间距相等。2.根据权利要求1所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述散热通道还包括多个纵向流道，所述纵向流道沿所述炉体的周向间隔分布，且相邻所述纵向流道之间的间距相等。3.根据权利要求2所述的散热性能好的气相沉积炉，其特征在于，所述纵向流道设置于多个所述环形流道中...
【专利技术属性】
技术研发人员：康志卫，陈志军，王伟，曹卫，
申请(专利权)人：湖南诺沃科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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