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本实用新型提供一种散热性能好的气相沉积炉，包括炉体和炉盖，所述炉体内设有沉积腔室，所述炉体的顶部设有与所述沉积腔室连通的开口，所述炉盖盖合在所述开口上；所述炉体的炉侧壁内设有散热通道，所述炉体的炉侧壁上设有与所述散热通道连通的冷却介质入口管...
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