【技术实现步骤摘要】
一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置
[0001]本技术涉及本专利技术涉及工业零件清洗设备领域，具体涉及一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置。
技术介绍
[0002]现有工业零件清洗一般需要通过超声波使用纯水、煤油和碱性溶液对工业零件进行清洗和油封，此类清洗方法适用于去除零件表面的不可皂化油与灰尘、杂质等，对于刻蚀机气体分配器表面小孔内的杂质、灰尘等难以去除，清洗过后仍需要通过人工进行逐个小孔的疏通，会出现小孔堵塞被遗漏的现象，还会增加操作人员的劳动强度。
技术实现思路
[0003]本技术目的是提供一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，解决了气体分配器清洗效率低，清理不干净的技术问题。
[0004]为了实现上述技术目的，达到上述的技术要求，本技术所采用的技术方案是：一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架、设在框架上的清洗仓、仓盖、设在清洗仓下方的储液箱、水泵、设在仓盖上的调压阀，所述调压阀通过管道与水泵的出口连接，所述水泵的进口通过管道与储液箱相连，所述仓盖通过固定装置与清洗仓连接，所述清洗仓内设有用于安装气体分配器的装夹工装，所述清洗仓的下方设有储液箱。
[0005]作为优选的技术方案，所述调压阀设在仓盖的中心。
[0006]作为优选的技术方案，所述清洗仓的外形与气体分配器的形状相匹配。
[0007]作为优选的技术方案，所述清洗仓的下方设有滤网。
[0008]作为优选的技术方案，所述框架的四周设有四块平板，所述框架的底端设有底板，四块所述平板与底板构成储液箱。>[0009]作为优选的技术方案，所述平板为透明板。
[0010]作为优选的技术方案，所述固定装置包括对称设在仓盖边缘的固定夹、对称设在清洗仓的外表面的卡块，所述固定夹上设有搭扣，所述搭扣与卡块对应设置。
[0011]作为优选的技术方案，所述装夹工装上对称设有把手。
[0012]作为优选的技术方案，所述框架的底端设有万向轮。
[0013]作为优选的技术方案，所述框架采用铝型材制成。
[0014]本技术的有益效果是：一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，与传统方案相比：
[0015]1)通过调压阀增大清洗液的冲洗压力，从而更好地清洗气体分配器上的小孔，采用装夹工装对气体分配器进行固定，清洗更加稳定，省时省力，进一步优选的，调压阀设在仓盖的中心，清洗效果更加均匀；
[0016]2)优选的，清洗仓外形与气体分配器匹配，气体分配器在清洗仓中清洗时更加稳定；
[0017]3)优选的，透明板能够观察气体分配器清洗状态；
[0018]4)优选的，圆形的凹槽辅助目测是否偏心；
[0019]5)优选的，固定装置安装简单，紧固效果好；
[0020]6)优选的，把手易于操作人员安装和拆卸装夹工装；
[0021]7)优选的，万向轮使得移动更灵活，省时省力。
附图说明
[0022]图1是本技术的结构图；
[0023]图2是装夹工装的结构图；
[0024]图3是清洗仓的结构图；
[0025]图4是固定装置的结构图。
[0026]在图1
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4中，1、框架；2、清洗仓；201、环形底板；3、仓盖；4、调压阀；5、装夹工装；501、外挡边；502、通槽；503、内挡边；6、储液箱；7、水泵；8、固定装置；801、固定夹；802、搭扣；803、卡块；9、把手；10、气体分配器；11、万向轮。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本技术进一步描述。
[0028]本技术实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本技术的描述中，需要理解的是，若出现术语“头”、“尾”、“顶”、“底”、“左”、“右”、“前”、“后”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
[0029]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架1、设在框架1上的清洗仓2、仓盖3、设在清洗仓2下方的储液箱6、水泵7、设在仓盖3上的调压阀4，所述调压阀4通过管道与水泵7的出口连接，所述水泵7的进口通过管道与储液箱6相连；
[0030]所述仓盖3通过固定装置8与清洗仓2连接，所述清洗仓2内设有用于安装气体分配器的装夹工装5，具体的，所述清洗仓2的底部设有环形底板201，所述装夹工装5上设有外挡边501，所述外挡边501与环形底板201配合对装夹工装5进行限位，所述装夹工装5上设有容纳气体分配器10的圆形的通槽502，所述通槽502内设有内挡边503，所述内挡边503对气体分配器10进行限位，进一步的，所述装夹工装5与环形底板201紧固连接，所述气体分配器10与内挡边503紧固连接，装夹工装5固定住气体分配器10；
[0031]所述清洗仓2的下方设有储液箱6，所述储液箱6中储存有清洗液，水泵7抽吸清洗液，清洗液通过管道进入调压阀4，调压阀4增加清洗液的压力，从而使得清洗液具有高压，冲洗力大，这样气体分配器上的小孔中的污垢更容易清洗，进一步的，所述调压阀4设在仓盖3的中心，这样清洗液从中间向两边扩散，清洗效果更加均匀；
[0032]清洗仓2与储液箱6相通，清洗后气体分配器10后的清洗液回流至储液箱6，进一步的，在水泵7和储液箱6之间设置过滤装置防止异物堵塞水泵7，需要注意的是，过滤装装置为本领域的公知技术，并未在附图中表示，连接水泵的管道未在附图中表示，水泵可通过安
装座直接安装在工作面，不再详细阐述。
[0033]如图1
‑
4所示，所述清洗仓2的外形与气体分配器10的形状相匹配，保证气体分配器10放入后在冲洗时保持平稳。
[0034]如图1
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4所示，所述清洗仓2的下方设有滤网，对清洗液进行过滤后回流至储液箱6，防止异物堵塞水泵7。
[0035]如图1
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4所示，所述框架1的四周设有四块平板，所述框架1的底端设有底板，四块所述平板与底板构成储液箱6，结构简单实用，进一步的，所述平板为透明板，透明板易于观察气体分配器的清洗情况，并随时观察清洗液是否足够以及清洗液的浑浊度。
[0036]如图1
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4所示，所述固定装置8包括对称设在仓盖3边缘的固定夹801、对称设在清洗仓2的外表面的卡块803，所述卡块803与清洗仓紧固连接，所述固定夹801上设有搭扣802，所述搭扣802与卡块803对应设置，将搭扣802扣到卡块803上，固定夹801压紧仓盖3，从而仓盖3能够盖紧清洗仓2。
[0037]如图1
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4所示，所述装夹工装5本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，其特征在于，包括框架(1)、设在框架(1)上的清洗仓(2)、仓盖(3)、设在清洗仓(2)下方的储液箱(6)、水泵(7)、设在仓盖(3)上的调压阀(4)，所述调压阀(4)通过管道与水泵(7)的出口连接，所述水泵(7)的进口通过管道与储液箱(6)相连，所述仓盖(3)通过固定装置(8)与清洗仓(2)连接，所述清洗仓(2)内设有用于安装气体分配器(10)的装夹工装(5)，所述清洗仓(2)的下方设有储液箱(6)。2.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，其特征在于，所述调压阀(4)设在仓盖(3)的中心。3.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，其特征在于，所述清洗仓(2)的外形与气体分配器(10)的形状相匹配。4.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，其特征在于，所述清洗仓(2)的下方设有滤网。5.根据权利要求1所述的一种用于刻蚀机气...
【专利技术属性】
技术研发人员：施靖，游利，管明月，夏荣荣，
申请(专利权)人：靖江先锋半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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