温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架(1)、设在框架(1)上的清洗仓(2)、仓盖(3)、设在清洗仓(2)下方的储液箱(6)、水泵(7)、设在仓盖(3)上的调压阀(4)，所述调压阀(4)通过管道与水泵(7)的出口连接，所...该专利属于靖江先锋半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过靖江先锋半导体科技有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种用于刻蚀机气体分配器清洗装置，包括框架(1)、设在框架(1)上的清洗仓(2)、仓盖(3)、设在清洗仓(2)下方的储液箱(6)、水泵(7)、设在仓盖(3)上的调压阀(4)，所述调压阀(4)通过管道与水泵(7)的出口连接，所...