具有发散区的半导体激光器单元制造技术

一种耦合到单模光纤的半导体脊形激光器，有一个带有窄平行区的脊、一个发散区，然后一个邻接输出小面的宽平行区。激光器的抽运区可以小于脊的整个区域并具有“Ｔ”形。较佳地，脊的深度约３５０到５５０ｎｍ，窄平行区的长度超过脊整个长度０．４倍。在输出处的宽平行区使激光器能够获得低热阻，产生低工作温度、激光腔的低功率密度和低象散性。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
本专利技术一般涉及半导体激光器装置，尤其涉及适合于不用另外校正光具耦合到单模光纤的大功率脊形激光器。随着光通信的增长，半导体激光器成为电信系统的重要部件。这些激光器器件以相对大功率电平启动高质量光发射，尤是单横模发射。可以使用大功率单模半导体激光器作为泵激光器用于光纤放大器。在标准半导体激光器中，有源区被嵌入在p-n结中。多层结构在有源区两侧产生高折射率区。于是，平行于各层的光传播可以在有源区引导。已知脊形半导体激光器具有在激光器中与横向区域比较的增加垂直厚度的区域。通过改变各层的厚度(例如在选择的蚀刻)，可以获得折射率的横向调制，以便以得光引导段。具有较高厚度的区域(通常称脊)比横向区域有较高有效的折射率。折射率阶跃的范围取决于与横向区域有关的脊厚度。因为折射率的实部在脊上比在脊外高，光可以沿着脊引导。该引导机理称为折射率引导。同样，电流可以通过沉积在p和n侧上的金属接点注入到有源区中。因为光增益作为载流子浓度函数而增加，增益在接点以下的区域高于外面区域，激光会在高增益区域传播。该引导机理称为增益引导。在脊形激光器中，将折射率引导和增益引导二者用作引导机理，每一机理的相对权重本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发射单模大功率激光的半导体单元，包含一个长度Ｌ的光引导段，在背小面和前小面之间纵向延伸，所述光引导段包含：接近所述背小面的一个窄部分，具有宽度Ｗ１和长度Ｌ１的基本平行边，用于引导单模传播，一个长度Ｌ２的发散部分，从宽度Ｗ１放宽到 宽度Ｗ３，用于绝热地扩展所述单模传播，其特征在于，所述长度Ｌ１大于０．４Ｌ，所述光引导段包含邻接所述前小面的一个宽部分，具有宽度Ｗ３和长度Ｌ３大于２０μｍ的基本平行边，所述宽度Ｗ３是在５和２０μｍ的范围内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S巴尔萨莫，G吉斯诺提，S莫拉斯卡，F特雷齐，
申请(专利权)人：康宁OTI股份公司，
类型：发明
国别省市：IT[意大利]