一种用于天车的旋转机构制造技术

技术编号:33151863 阅读:15 留言:0更新日期:2022-04-22 14:06
本发明专利技术公开了一种用于天车的旋转机构,包括承载座,所述包括承载座下端面可拆卸连接托架,所述托架下端面左侧设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴连接减速机,所述减速机末端的蜗杆连接传动齿轮,所述传动齿轮通过皮带连接旋转轮,所述旋转轮下端面上固定连接检知板,所述检知板外边缘上方设有检测传感器。通过本旋转机构能够实现晶圆片盒可控角度的旋转,可满足不同机台装载口的布局需要,同时可在晶圆片盒运输的过程中对其进行180度旋转,无需输送带的台车进行调整,大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。大大提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于天车的旋转机构


[0001]本专利技术涉及天车的
,具体来说,涉及一种用于天车的旋转机构。
[0002]
技术介绍

[0003]以目前旧厂天车轨道布局来说,很多机台装载口8不是在同一直线上,因为三轴机台手臂9的关系,这时一般的天车就没办法在这种机台装载口上面做移载,这种布局对于天车的运行会存在很大的限制,一般正常轨道布局天车在定位后升降部要做侧向移载,正常来说机台装载口8若在同一直线上的话(如图3所示),天车做移载是不会遇到问题的,那若是因为地形的限制或是机台手臂9的限制导致机台装载口8没有在同一直线上(如图4所示),这时就需要晶圆片盒13能够进行一定的旋转,同时一般天车到输送带11做移载时都是没有转180度放货,是靠输送带11的台车10旋转180度后传进仓储设备12(如图5所示), 目前用于晶圆片盒13旋转的旋转机构旋转角度很小,通用性不强,现急需一种可满足不同机台装载口布局且能够完成在天车上对移载进行180度旋转的旋转机构。
[0004]
技术实现思路

[0005]针对相关技术中的上述技术问题,本专利技术提出一种用于天车的旋转机构,能够解决上述问题。
[0006]为实现上述技术目的,本专利技术的技术方案是这样实现的:一种用于天车的旋转机构,包括承载座,所述包括承载座下端面可拆卸连接托架,所述托架下端面左侧设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴连接减速机,所述减速机末端的蜗杆连接传动齿轮,所述传动齿轮通过皮带连接旋转轮,所述旋转轮下端面上固定连接检知板,所述检知板外边缘上方设有检测传感器,所述驱动电机、所述检测传感器均电性连接天车控制模块。
[0007]进一步的,所述承载座上端面设有与天车横移机构相匹配的安装槽,所述承载座下端面还设有连接轴槽。
[0008]进一步的,所述驱动电机的输出轴与所述减速机末端的蜗杆垂直。
[0009]进一步的,所述旋转轮中部设有连接轴。
[0010]进一步的,所述连接轴穿过所述检知板。
[0011]进一步的,所述减速机、所述旋转轮、所述检测传感器均连接于所述托架下端面上。
[0012]本专利技术的有益效果:通过本旋转机构能够实现晶圆片盒可控角度的旋转,可满足不同机台装载口的布局需要,同时可在晶圆片盒运输的过程中对其进行180度旋转,无需输送带的台车进行调整,大大提高了工作效率。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是根据本专利技术实施例所述的一种用于天车的旋转机构的仰视图;图2是根据本专利技术实施例所述的天车通过旋转机构工作简图;图3是根据本专利技术实施例所述的机台装载口在同一直线时的工作简图;图4是根据本专利技术实施例所述的机台装载口不在同一直线时的工作简图;图5是根据本专利技术实施例所述的现有的输送带做移栽时结构简图;图6是根据本专利技术实施例所述使用本专利技术时的输送带做移栽时结构简图。
[0015]图中:1、驱动电机;2、减速机;3、传动齿轮;4、皮带;5、旋转轮;6、检知板;7、检测传感器;8、机台装载口;9、三轴机台手臂;10、台车;11、输送带;12、仓储设备;13、晶圆片盒;14、天车横移机构;15、承载座;16、托架;17、连接轴。
具体实施方式
[0016]下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0017]如图1

2所示,一种用于天车的旋转机构,包括承载座15,所述包括承载座15下端面可拆卸连接托架16,所述托架16下端面左侧设有驱动电机1,所述驱动电机1的输出轴连接减速机2,所述减速机2末端的蜗杆连接传动齿轮3,所述传动齿轮3通过皮带4连接旋转轮5,所述旋转轮5下端面上固定连接检知板6,所述检知板6外边缘上方设有检测传感器7,所述驱动电机1、所述检测传感器7均电性连接天车控制模块。
[0018]在本专利技术中所述承载座15上端面设有与天车横移机构14相匹配的安装槽,所述承载座15下端面还设有连接轴槽,所述驱动电机1的输出轴与所述减速机2末端的蜗杆垂直,所述旋转轮5中部设有连接轴17,所述连接轴17穿过所述检知板6,所述减速机2、所述旋转轮5、所述检测传感器7均连接于所述托架16下端面上。
[0019]本专利技术的旋转机构上端通过安装槽与天车横移机构14固定连接,下端通过连接轴17固定连接晶圆片盒,当天车到达移载定位,需做侧向移载时,遇到正常的轨道布局上下和移栽是没问题的(如图3),当遇到移载的机台装载口8没在同一直线上时(如图4),就要靠天车的旋转机构来克服这个问题,当天车横移机构14伸出后,旋转机构就会带动晶圆片盒13旋转到机台装载口8需要的角度才会下货(如图2), 当天车到输送带11做移载时因为天车方向的关系,所以往左方向的天车下货到输送带11上后, 输送带11的台车10需要把晶圆片盒13旋转180度才能传进仓储设备内(如图5),但使用本专利技术的旋转机构是可以直接在天车上面旋转180度然后直接下货到输送带11上(如图6), 输送带台车10就不需要在做旋转180度的动作就可以直接传进仓储设备12中了。
[0020]为了方便理解本专利技术的上述技术方案,以下通过具体使用方式上对本专利技术的上述
技术方案进行详细说明。
[0021]在具体使用时,当天车到达机台装载口8时,天车升降机构下降,天车横移机构14伸出后,旋转机构就会带动晶圆片盒13旋转到机台装载口8需要的角度进行相应的工作,工作完成后天车升降机构上升归位并继续进行输送,在输送过程中旋回机构会做180度的旋转,它旋转的原理是靠驱动电机1带动传动齿轮3,传动齿轮3通过皮带4带动旋转轮5旋转,旋转轮5带动晶圆片盒13旋转,在旋转的过程中,通过检知板6来做感知,由检测传感器7来做侦测去判断目前的位置,通过生产线控制电柜进行控制。
[0022]综上所述:本机构的主要工作部件都安装在托架上,托架与承载座可拆卸连接,当旋转机构损坏时,方便拆卸更换和维护,同时承载座上设有连接轴槽,可通过单独配置的连接轴直接直接连接晶圆片盒13(当机台装载口8由不是一条直线的布局改为一条直线的布局,可去掉旋转机构直接使用),通用性较强;本机构的驱动电机与减速机采用90度的连接方式,有效的利用了空间;通过本机构能够实现晶圆片盒可控角度的旋转,可满足不同机台装载口的布局需要,同时可在晶圆片盒运输的过程中对其进行180度旋转,无需输送带的台车进行调整,大大提高了工作效率。
[0023]以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已,并不用以限制本专利技术,凡在本专利技术的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于天车的旋转机构,其特征在于,包括承载座(15),所述包括承载座(15)下端面可拆卸连接托架(16),所述托架(16)下端面左侧设有驱动电机(1),所述驱动电机(1)的输出轴连接减速机(2),所述减速机(2)末端的蜗杆连接传动齿轮(3),所述传动齿轮(3)通过皮带(4)连接旋转轮(5),所述旋转轮(5)下端面上固定连接检知板(6),所述检知板(6)外边缘上方设有检测传感器(7),所述驱动电机(1)、所述检测传感器(7)均电性连接天车控制模块。2.根据权利要求1所述的一种用于天车的旋转机构,其特征在于,所述承载座(15)上端面设有与天车横...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵宁詹翡纱
申请(专利权)人:耘德有限公司
类型:发明
国别省市:

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