一种蒸镀、水镀一体化设备制造技术

本发明专利技术实施例提供一种蒸镀、水镀一体化设备，包括蒸镀室、过渡室和水镀室，所述水镀室位于所述蒸镀室的正下方，所述过渡室位于所述蒸镀室和所述水镀室之间，所述蒸镀室和所述过渡室上分别设置有抽真空装置。本发明专利技术实施例中蒸镀室和水镀室一体化设计，避免了在运输过程中空气中的水分子会吸附在基膜上，提高镀膜质量，同时也省时省力，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀、水镀一体化设备


[0001]本专利技术涉及基膜制备设备
，具体涉及一种蒸镀、水镀一体化设备。

技术介绍

[0002]随着光学基膜技术以及半导体科技的发展，真空镀膜技术在生产中的应用也越来越广泛与重要，而真空蒸发镀膜是发展最早、最普遍、应用最广泛的真空镀膜工艺。真空蒸发镀膜机的种类很多，型式各异，其中以间歇式真空蒸发镀膜机发展历史最久远，但由于其无法进行连续镀膜、镀膜面积小、生产效率低等缺点，难以满足大面积柔性基膜镀膜生产的应用，与之相比，连续式卷绕真空镀膜机则由于其速度快、高效率、低成本而逐渐流行，广泛应用于大面积柔性基膜的生产之中。
[0003]柔性基膜基底材料的选择多种多样，市场上应用广泛的有PC、PI、PVC、PMMA、PET等等，这些材料会受温度升高影响而产生热应力，从而改变其形状，且随着温升增加而变形加剧，而较薄的基膜的热应力形变会更加明显。由于在真空蒸发镀膜中材料蒸发的加热温度普遍在1000℃以上，因此目前常规的卷绕镀膜机只能镀厚度在50微米至200微米之间的常规柔性基膜。
[0004]现有技术中，蒸镀设备和水镀设备是分离的，在对基膜进行蒸镀后，需要将蒸镀后的基膜运输至是电镀设备进行水电镀，在运输过程中，空气中的水分子会吸附在基膜上，影响产品质量，另外，运输既耗费时间，也会增加成本。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术实施例的目的在于提供一种基膜蒸镀器和基膜蒸镀方法，以解决现有技术中蒸镀设备和水镀设备分离的技术问题。
[0006]为达上述目的，第一方面，本专利技术提供一种蒸镀、水镀一体化设备，包括蒸镀室、过渡室和水镀室，所述水镀室位于所述蒸镀室的正下方，所述多个过渡室位于所述蒸镀室和所述水镀室之间，所述蒸镀室和所述多个过渡室上分别设置有抽真空装置。
[0007]在一些可能的实施方式中，所述蒸镀室包括：第一蒸镀架，在所述第一蒸镀架上从上至下的设置有放卷辊和收卷辊；
[0008]第二蒸镀架，在所述第二蒸镀架上从上至下的设置有第一蒸镀源和第二蒸镀源；
[0009]第三蒸镀架，在所述第三蒸镀架上从上至下的设置有第一转向辊和第二转向辊；
[0010]其中，所述第一蒸镀源在竖直方向上的安装高度低于所述放卷辊和所述第一转向辊；
[0011]所述第二蒸镀源在竖直方向上的安装高度低于所述收卷辊和所述第二转向辊。
[0012]在一些可能的实施方式中，所述放卷辊与所述第一转向辊在竖直方向上的安装高度相同；
[0013]所述收卷辊的顶部切面与所述第二转向辊底部切面为同一个水平面。
[0014]在一些可能的实施方式中，所述蒸镀室还包括：
[0015]第四蒸镀架，设置在所述第二蒸镀架和所述第三蒸镀架之间，在所述第四蒸镀架上设置有第三蒸镀源和第四蒸镀源；
[0016]所述第三蒸镀源在竖直方向上的安装高度与所述第一蒸镀源相同，所述第四蒸镀架在竖直方向上的安装高度与所述第二蒸镀源相同。
[0017]在一些可能的实施方式中，蒸镀室还包括多个冷却辊，分别设置在所述第二蒸镀架和所述第四蒸镀架上。
[0018]在一些可能的实施方式中，所述多个冷却辊包括：第一冷却辊，垂直安装于所述第二蒸镀架上，且竖直方向上的安装高度与所述第二转向辊相同；
[0019]第二冷去辊，垂直安装于所述第四蒸镀架上，且所述第二冷去辊的底部切面与所述第一转向辊的顶部切面为同一个水平面。
[0020]在一些可能的实施方式中，所述过渡室为一个或多个，其中，每个过渡室均包括：
[0021]导向辊，垂直安装于所述过渡室的侧壁上，且与所述过渡室可拆卸的转动连接。
[0022]在一些可能的实施方式中，所述水镀室包括：
[0023]槽体，在槽体的侧壁上依次设置有第一过辊和第一挤压辊，在所述槽体的内部设置有第一柱体、第二柱体和第三柱体，其中，
[0024]在所述第一柱体上从下至上的设置有第一导电辊、第二导电辊和收卷部；所述第二柱体上从下至上的依次设置有第一钛蓝柱和第二钛蓝柱；所述第三柱体从下至上的依次设置有第二过辊和第三过辊；
[0025]所述第一钛蓝柱在竖直方向上的安装高度低于所述第一导电辊和所述第二过辊；
[0026]所述第二钛蓝柱在竖直方向上的安装高度低于所述第二导电辊和所述第三过辊。
[0027]在一些可能的实施方式中，所述第一导电辊和所述第三过辊在竖直方向上的安装高度相同；所述第二过辊的底部切面与所述第二导电辊的顶部切面为同一个水平面。
[0028]在一些可能的实施方式中，所所述水镀室还包括：
[0029]第三钛蓝柱，位于所述第二钛蓝柱的上方，并垂直安装于所述第二柱体上；
[0030]加热辊，位于所述第二过辊和所述收卷部之间，并垂直安装于所述第一柱体上。
[0031]上述技术方案的有益效果如下：
[0032]本专利技术实施例提供的一种蒸镀、水镀一体化设备，包括蒸镀室、过渡室和水镀室，所述水镀室位于所述蒸镀室的正下方，所述多个过渡室位于所述蒸镀室和所述水镀室之间，所述蒸镀室和所述多个过渡室上分别设置有抽真空装置。本专利技术实施例中蒸镀室和水镀室一体化设计，避免了在运输过程中空气中的水分子会吸附在基膜上，提高镀膜质量，同时也省时省力，降低成本。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1是本专利技术实施例提供的一种蒸镀、水镀一体化设备的结构框图；
[0035]图2是本专利技术实施例提供的一种蒸镀、水镀一体化设备的主视图；
[0036]图3是本专利技术实施例提供的第一种蒸镀室的主视图；
[0037]图4是本专利技术实施例提供的第二种蒸镀室的主视图；
[0038]图5是本专利技术实施例提供的第三种蒸镀室的主视图；
[0039]图6是本专利技术实施例提供的一种过渡室的主视图；
[0040]图7是本专利技术实施例提供的第一种水镀室的主视图；
[0041]图8是本专利技术实施例提供的第二种水镀室的主视图；
[0042]图9是本专利技术实施例提供的第三种水镀室的主视图；
[0043]图10本专利技术实施例提供的第四种水镀室的主视图。
[0044]附图标号说明：
[0045]1、蒸镀室；2、过渡室；3、水镀室；4、抽真空装置；
[0046]110、第一蒸镀架；111、放卷辊；112、收卷辊；
[0047]120、第二蒸镀架；121、第一蒸镀源；122、第二蒸镀源；123、第一冷却辊；
[0048]130、第三蒸镀架；131、第一转向辊；132、第二转向辊；
[0049]140、第四蒸镀架；141、第三蒸镀源；142、第四蒸镀源；本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，包括蒸镀室(1)、过渡室(2)和水镀室(3)，所述水镀室(3)位于所述蒸镀室(1)的正下方，所述过渡室(2)位于所述蒸镀室(1)和所述水镀室(3)之间，所述蒸镀室(1)和所述过渡室(2)上分别设置有抽真空装置(4)。2.根据权利要求1所述的一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，所述蒸镀室(1)包括：第一蒸镀架(110)，在所述第一蒸镀架(110)上从上至下的设置有放卷辊(111)和收卷辊(112)；第二蒸镀架(120)，在所述第二蒸镀架(120)上从上至下的设置有第一蒸镀源(121)和第二蒸镀源(122)；第三蒸镀架(130)，在所述第三蒸镀架(130)上从上至下的设置有第一转向辊(131)和第二转向辊(132)；其中，所述第一蒸镀源(121)在竖直方向上的安装高度低于所述放卷辊(111)和所述第一转向辊(131)；所述第二蒸镀源(122)在竖直方向上的安装高度低于所述收卷辊(112)和所述第二转向辊(132)。3.根据权利要求2所述的一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，所述放卷辊(111)与所述第一转向辊(131)在竖直方向上的安装高度相同；所述收卷辊(112)的顶部切面与所述第二转向辊(132)底部切面为同一个水平面。4.根据权利要求3所述的一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，所述蒸镀室(1)还包括：第四蒸镀架(140)，设置在所述第二蒸镀架(120)和所述第三蒸镀架(130)之间，在所述第四蒸镀架(140)上设置有第三蒸镀源(141)和第四蒸镀源(142)；所述第三蒸镀源(141)在竖直方向上的安装高度与所述第一蒸镀源(121)相同，所述第四蒸镀架(140)在竖直方向上的安装高度与所述第二蒸镀源(122)相同。5.根据权利要求4所述的一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，蒸镀室(1)还包括多个冷却辊，分别设置在所述第二蒸镀架(120)和所述第四蒸镀架(140)上。6.根据权利要求5所述的一种蒸镀、水镀一体化设备，其特征在于，所述多个冷却辊包括：第一冷却辊(123)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：重庆金美新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：