三维堆叠集成滤波器组制造技术

本实用新型专利技术涉及滤波器领域，公开了一种三维堆叠集成滤波器组，以解决现有技术中由于需要集成更多的声波滤波器，从而会占用更多的集成面积，继而导致集成声波滤波器的设备的体积较大的技术问题。本实用新型专利技术包括多个声波滤波器，所述多个声波滤波器中至少有两个声波滤波器在衬底的厚度方向上堆叠设置；其中，各声波滤波器的衬底上设置有级联的声波谐振器，所述至少两个声波滤波器中相邻声波滤波器之间设置有用于容纳声波谐振器的空腔。通过将至少两个声波滤波器在衬底的厚度方向上堆叠设置，能够减小整个集成滤波器组芯片面积尺寸，同时相邻声波滤波器之间设置空腔，能够保护声波谐振器不被损伤。本实用新型专利技术适用于基站设备、终端设备。设备。设备。

【技术实现步骤摘要】
三维堆叠集成滤波器组


[0001]本技术涉及滤波器领域，尤其是涉及集成声波滤波器组。

技术介绍

[0002]声波谐振器技术涉及的声波包括：声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)，是一种在物体表面传播的声波；体声波(Bulk Acoustic Wave，BAW)，是一种在物体内部传播的声波。以BAW滤波器为例，BAW滤波器主要由多个BAW谐振器单元通过电学级联的方式构成。由于声波的波速较小，一般比电磁波波速低5个数量级左右，相应的声波滤波器的尺寸将会大幅度减小，因此近些年声波滤波器得到了集中研究和快速发展。
[0003]目前，一座4G的基站对滤波器的使用量约为6
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8个，而一座5G的基站对滤波器的使用量则为64个。一部4G手机需要用到的滤波器的数量大约为30多个，而一部5G手机需要用到的滤波器则增加至上百个。
[0004]由上述描述可知，无论是基站设备还是终端设备，随着通信技术的不断发展，其用到的滤波器的数量均是呈增长趋势，声波滤波器主要由多个声波谐振器单元通过电学级联的方式构成，具体可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.三维堆叠集成滤波器组，其特征在于，包括：多个声波滤波器，所述多个声波滤波器中至少有两个声波滤波器在衬底的厚度方向上堆叠设置；其中，各声波滤波器的衬底上设置有级联的声波谐振器，所述至少两个声波滤波器中相邻声波滤波器之间设置有用于容纳声波谐振器的空腔。2.如权利要求1所述的三维堆叠集成滤波器组，其特征在于，在所述相邻声波滤波器之间相对两面中任一面上开设有凹槽，所述凹槽与另一面组合成用于容纳所述声波谐振器的空腔。3.如权利要求1所述的三维堆叠集成滤波器组，其特征在于，所述空腔为开设在第一面上的第一凹槽和开设在第二面上的第二凹槽组合成的腔体；其中，所述第一面为所述相邻声波滤波器之间相对两面中的任意一面，所述第二面为所述相对两面中的另一面。4.如权利要求1所述的三维堆叠集成滤波器组，其特征在于，堆叠设置的声波滤波器的衬底上设置有贯穿声波滤波器上下表面的通孔；所述三维堆叠集成滤波器组还包括：匹配电路，通过所述通孔与堆叠设置的声波滤波器之间对应连接。5.如权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵娟，田熙，
申请(专利权)人：成都芯仕成微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：