一种用于真空连接板密封性测试装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种用于真空连接板密封性测试装置及其使用方法。所述一种用于真空连接板密封性测试装置，包括上定位M3螺栓四根、垫圈一个、下定位气密装置底台一个和真空连接板。本发明专利技术提供的用于真空连接板密封性测试装置及其使用方法，通过包括四根上定位M3螺栓、一个下定位气密装置底台的定位形式，有效解决了手工刻制的橡胶垫误差导致真空连接板气密测试困难及检测结果存在偏差的问题，该真空连接板测试气密装置与产品封接位置相配合，且四个角均有螺丝定位，以保证工作台面的平整度，在气密测试时与真空连接板接触处设计橡胶圈，当测试气密抽真空时二者可达到无缝隙接触，提升测试效果及提高检测效率。测试效果及提高检测效率。测试效果及提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空连接板密封性测试装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及真空连接板密封性测试领域，尤其涉及一种用于真空连接板密封性测试装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]电子封装通常应用于航空、航天、船舶、电子、通讯、雷达兵器等领域，要求其具有出色的电性能，满足密封、屏蔽、散热、支撑、抗腐、光电传输等高可靠性的作用。真空连接板属于混合集成电路封装外壳的一种类型，一般包括金属壳体、多个插在金属壳体上的引线，以及贯穿于壳体和引线之间起到高密封和高绝缘作用的绝缘子。
[0003]其中，密封性能是真空连接板的一个非常重要的性能指标，通常情况下都是根据真空连接板的封接位置提供手工刻制的橡胶垫，但这种橡胶垫本身也存在漏气的风险，以及人工刻制的尺寸误差，导致真空连接板产品气密性能的检测不够精准，影响后期产品在工况下的使用。
[0004]所以，合适的密封性测试装置能满足不同类型的真空连接板的气密性能测试是很有意义的，也可以一定程度提高检验人员的检测效率以及产品测试的精准度。
[0005]因此，有必要提供一种用于真空连接板密封性测试本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空连接板密封性测试装置，其特征在于，包括上定位M3螺栓(1)四根、垫圈(2)一个、下定位气密装置底台(3)一个和真空连接板(4)。2.根据权利要求1所述的用于真空连接板密封性测试装置，其特征在于，所述的上定位M3螺栓(1)，与下定位气密装置底台(3)对应螺纹孔连接。3.根据权利要求1所述的用于真空连接板密封性测试装置，其特征在于，所述的垫圈(2)镶嵌于下定位气密工装底台(3)，且大小与凹台配合，相适配。4.根据权利要求1所述的用于真空连接板密封性测试装置，其特征在于，所述下定位气密装置底台(3)其上端为一方形台面，其表面有四个与螺栓配合的螺纹通孔，中部为一空心圆柱，下端面与氦质谱检漏仪的抽气口相配合。5.根据权利要求1所述的用于真空连接板密封性测试装置，其特征在于，所述真空连接板(4)的封接部位完全...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋瑞，冯庆，韩坤炎，侯丝丝，程坤，王宇飞，
申请(专利权)人：西安赛尔电子材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：