激光加工装置及该加工装置的控制方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供的进行脉冲激光振荡的激光加工机，具备：根据控制激光脉冲输出用的控制参数设定、而输出指令脉冲群的控制装置；输入该指令脉冲群、并根据预先设定的设定值抽去该指令脉冲群的脉冲的抽去装置；根据该抽去装置输出的指令脉冲群、产生供给负载的脉冲功率的电源装置；以及利用该电源装置供给的脉冲功率发生的放电来激励充满放电空间的激光媒体、并输出激光的振荡器装置。能避免因开关次数增加而引起电源装置的发热，并能以低成本使脉宽大幅度改变。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及进行脉冲激光振荡的激光加工装置及供给发生激光振荡所需放电用的功率的电源装置的控制方法，涉及不增大电源装置的容量而大幅度扩大激光脉冲输出的脉宽使用范围、并扩大气体激光加工装置的可加工范围用的技术。
技术介绍
近年来，作为以印刷基板为代表的微细加工应用，输出脉宽为1μs至几十μs的脉冲振荡的激光加工机的需要在增长，已进入了实用化。图8示出以往的气体激光加工机用脉冲激光振荡器(以下称脉冲激光振荡器)的基本构成图。其构成为利用控制装置1输出的指令脉冲群2，控制脉冲激光振荡器用电源装置3(例如由三相整流电路4、逆变电路5与升压变压器6等构成)，结果，通过将功率供给以激光媒体(混合气体)充满的放电空间7，产生放电，利用放电而激励的激光媒体通过谐振器8(由电极9、部分反射镜10及全反射镜11构成)形成激光12输出。具体说，当控制装置1输出指令脉冲群2时，与之对应，逆变电路5动作，将由三相整流电路4整流的直流功率变换为交流功率，由升压变压器6升压到放电所需的电压。这里，对于工业应用所使用的气体激光加工机(例如二氧化碳激光加工机)使用的电源装置，它为激励激光媒体而发生放电所供给的交本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光加工装置，其特征在于，具备根据控制激光脉冲输出用的控制参数设定、而输出指令脉冲群的控制装置；输入该指令脉冲群、并根据预先设定的设定值抽去该指令脉冲群的脉冲的抽去装置；根据该抽去装置输出的指令脉冲群、产生供给负 载的脉冲功率的电源装置；以及利用该电源装置供给的脉冲功率发生的放电来激励充满放电空间的激光媒体、并输出激光的振荡器装置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：城所仁志，松原真人，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]