激光振荡器制造技术

提供一种激光振荡器（２），其具有：第一电极对（７ａ）；第二电极对（７ｂ）；在第一和第二电极对（７ａ、７ｂ）中产生脉冲放电的放电电源（４）；以及以下单元中的至少一个：在放电电源（４）的脉冲放电时，为使第一电极对（７ａ）中的第一放电相位（Ｘ１）和第二电极对（７ｂ）中的第二放电相位（Ｘ２）互不相同而进行控制的放电相位控制单元（５３）；在脉冲放电时，为使第一电极对（７ａ）中的第一占空比（Ｙ１）和第二电极对（７ｂ）中的第二占空比（Ｙ２）互不相同而进行控制的占空比控制单元（５３）；以及在脉冲放电时，为使第一电极对（７ａ）中的第一脉冲频率（Ｚ１）和第二电极对（７ｂ）中的第二脉冲频率（Ｚ２）互不相同而进行控制的脉冲频率控制单元（５３）。由此，可以在使放电电极中的放电稳定的同时，迅速地控制激光输出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激励气体或者固体介质来得到激光输出的激光振荡器。
技术介绍
一般，通过对应的激光振荡用的电源输出的增减，来控制来自激光振荡器的激光输出。即，在一般的激光振荡器中，当请求增加激光输出时，使电源输出增加，当请求减小激光输出时，使电源输出减小。例如，在特开平7-122799号公报中公开的激光振荡器具有多个电极对和分别对应于这些电极对的多个电源装置，通过分别控制这些电源装置，定量地控制激光输出。图9是表示在特开平7-122799号公报中公开的现有技术的激光振荡器的激光输出等和时间的关系的图。如图9所示，根据多个、在图9中是两个电极对上施加的电源输出V1、V2的合计值(V1+V2)来决定激光平均输出。在该合计值超过规定的阈值V0的情况下，根据合计值输出激光。从图9可知，当该合计值变化时，激光输出根据合计值的变化定量地变化。然而，当使电源输出增加时，由于激光气体温度的上升，激光气体的压力变化，同时放电区域的大小和放电区域的放电密度也发生变化。这种变化到稳定为止需要比较长的时间，因此，存在难于迅速地控制激光输出的问题。为了避免这样的问题，例如，在特开平5-206554号公报中，公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光振荡器（２），其包含第一电极对（７ａ）、相对于该第一电极对（７ａ）串联配置的第二电极对（７ｂ）、在所述第一和第二电极对（７ａ、７ｂ）中产生脉冲放电的放电电源（４），其特征在于，具有：放电相位控制单元（５３），该放电相位控制单 元（５３）在该放电电源（４）的脉冲放电时进行控制，以使所述第一电极对（７ａ）中的第一放电相位（Ｘ１）和所述第二电极对（７ｂ）中的第二放电相位（Ｘ２）互不相同。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：江川明，安藤稔，小林英二，渡边武，
申请(专利权)人：发那科株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]