面发光激光器和激光投射装置制造方法及图纸

本发明专利技术是具有在半导体衬底（２ａ）上形成的有源层（３）以及向上述有源层（３）注入载流子的一对电极即上部电极（５）和下部电极（６）的面发光激光器（１００ａ），将该下部电极（６）的形状形成为星型形状，以便在该下部电极（６）的中心部分中用高的电流密度进行从该下部电极（６）向上述有源层（３）的电流的注入，在其周边部分中用低的电流密度进行上述电流的注入。在该面发光激光器（１００ａ）中，对面发光激光器的有源层注入的载流子的密度分布成为与有源层内的光的功率分布对应的分布，由此，可避免因有源层的与电极周边部对应的区域中的电流密度的增大导致的“烧孔”的发生，可大幅度地增加高输出时的横模稳定性以谋求高输出特性的提高。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及面发光激光器和激光投射装置，特别是涉及稳定地高输出动作的面发光激光器和将该面发光激光器用作光源的激光投射装置。
技术介绍
面发光激光器是以低的阈值进行激光器振荡的具有优良的光束品质的半导体激光器，实现了在利用能高速调制输出光这样的调制特性的光通信领域中的应用。但是，作为面发光激光器的课题，存在难以实现高输出的问题。由于利用薄膜构成面发光激光器，故在其结构方面，谐振腔长度非常短。因此，难以增加谐振腔长度来得到充分的增益。另一方面，也考虑增加面发光激光器的驱动电流来谋求高输出，但在面发光激光器中，在有源层内的载流子密度过高的情况下，因空间的“烧孔(hole burning)，，导致的增益饱和使光输出饱和，妨碍了高的光输出动作。根据这样的情况，为了在不增加谐振腔长度或增加驱动电流的情况下谋求面发光激光器的高输出，可认为增加面发光激光器中的光束剖面积是有效的。但是，如果为了在这样的谐振腔长度短的结构的面发光激光器中谋求激光器的高输出而增大光束剖面积，则谐振腔内的横模发生了多模化，产生显著地降低了光束品质或振荡效率这样的问题。与此不同，已开发了不导致这样的光束品质或振荡效率的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种使激光进行面发光的面发光激光器，其特征在于，具有：在半导体衬底上形成的有源层；以及向上述有源层注入载流子的一对电极，上述一对电极的一方由１个电极层构成，在该一方的电极的中心部分和其周边部分中用不同的电流密度进行从 该一方的电极至上述有源层的电流的注入。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：水内公典，笠澄研一，森川显洋，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]