用于工艺室衬垫的弹簧加载的紧固系统技术方案

一种用于将衬垫紧固到结构的弹簧加载的紧固系统，所述弹簧加载的紧固系统包括弹簧加载的紧固件，所述弹簧加载的紧固件具有：夹板，界定内部空腔；弹簧元件，设置在内部空腔的底板上；以及凸肩螺栓，具有设置在弹簧元件上的端头部分，其中所述凸肩螺栓的凸肩部分延伸穿过内部空腔的底板中的安装开孔且凸肩螺栓的带螺纹部分被紧固到所述结构。所述系统还包括位于衬垫的后表面中的悬挂囊，所述悬挂囊包括：第一部分，具有开口，所述开口的大小足以容纳夹板的下部部分的直径且大小不足以容纳夹板的上部部分的直径；以及第二部分，与第一部分毗邻，具有开口，所述开口的大小足以容纳夹板的上部部分的直径。板的上部部分的直径。板的上部部分的直径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于工艺室衬垫的弹簧加载的紧固系统


[0001]本公开的实施例一般来说涉及半导体处理设备领域，且更具体来说，涉及一种用于在离子注入机的工艺室中可移除地安装衬垫的弹簧加载的紧固系统。

技术介绍

[0002]离子注入是一种将性质改变的杂质引入到衬底中的标准技术。在离子注入工艺期间，在源室(source chamber)中将期望的杂质材料(“掺杂剂”)电离且将离子引导通过提取开孔(extraction aperture)。使离子加速以形成规定能量的离子束且将离子束引导到位于工艺室中的衬底的表面上。离子束中的高能离子穿透衬底材料的次表面并被嵌入到衬底材料的晶格中，以形成具有期望导电性或材料性质的区。
[0003]离子注入机的传统工艺室由金属(例如铝)制成。如果在离子注入工艺期间不加屏蔽，则工艺室的内表面会受到加速的掺杂离子以及从衬底溅射下来的材料的轰击。这可能导致在工艺室的内表面上积聚污染物。积聚的污染物最终可能以各种大小的颗粒形式从内表面剥落(flake off)。这些颗粒可能会对工具功能产生负面影响并可能需要大量清洁来修复。为了减轻这种积聚本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹簧加载的紧固件，包括：截头圆锥形的夹板，具有内部空腔；弹簧元件，设置在所述内部空腔的底板上；以及凸肩螺栓，设置在所述内部空腔中，其中所述凸肩螺栓的端头部分的底表面设置在所述弹簧元件上，且其中所述凸肩螺栓的凸肩部分延伸穿过所述内部空腔的所述底板中的安装开孔。2.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，其中所述弹簧元件是环形的并且具有比所述凸肩螺栓的所述端头部分的直径小的内径且具有比所述凸肩螺栓的所述端头部分的所述直径大的外径。3.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，还包括邻近所述夹板的底表面设置的平垫圈，其中所述凸肩螺栓的所述凸肩部分的底表面设置在所述平垫圈上且其中所述凸肩螺栓的带螺纹部分延伸穿过所述平垫圈。4.根据权利要求3所述的弹簧加载的紧固件，其中所述平垫圈具有比所述凸肩螺栓的所述凸肩部分的直径小的内径且具有比所述安装开孔的直径大的外径。5.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，其中所述弹簧元件是弹簧垫圈及螺旋弹簧中的一者。6.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，其中所述弹簧元件将所述凸肩螺栓的所述端头部分与所述夹板的所述内部空腔的所述底板远离彼此偏置。7.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，其中所述夹板是由铝、不锈钢、聚醚醚酮、尼龙、及特氟纶中的一者形成。8.根据权利要求1所述的弹簧加载的紧固件，其中所述夹板的侧壁以介于100度到120度的范围内的角度从所述夹板的底表面延伸。9.一种弹簧加载的紧固系统，用于将衬垫紧固到结构，所述弹簧加载的紧固系统包括：弹簧加载的紧固件，包括：截头圆锥形的夹板，具有内部空腔；弹簧元件，设置在所述内部空腔的底板上；以及凸肩螺栓，设置在所述内部空腔中，其中所述凸肩螺栓的端头部分的底表面设置在所述弹簧元件上，其中所述凸肩螺栓的凸肩部分延伸穿过所述内部空腔的所述底板中的安装开孔，且其中所述凸肩螺栓的带螺纹部分被紧固到所述结构；以及悬挂囊，位于所述衬垫的后表面中，所述悬挂囊包括：第一部分，在所述衬垫的所述后表面中界定开口，所述开口的大小足以容纳所述夹板的下部部分的直径且大小不足以容纳所述夹板的上部部分的直径；以及第二部分，与所述第一部分毗邻且在所述衬垫的所述后表面中界定开口，所述开口的大小足以容纳所述夹板的所述上部部分的所述直径。10.根据权利要求9所述的弹簧加载的紧固系统，其中所述弹簧元件是环形的并且具有比所述凸肩螺栓的所述端头部分的直径小的内径且具有比所述凸肩螺栓的所述端头部分的所述直径大的外径。11.根据权利要求9所述的弹簧加载的紧固系统，还包括邻近所...

【专利技术属性】
技术研发人员：本杰明，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：