一种溅射靶材打磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了溅射靶材加工设备领域的一种溅射靶材打磨装置，包括工作台，工作台的上表面固定连接有支撑架，且支撑架的形状设置为L型，支撑架的上表面设置有打磨机构，工作台的下表面设置有清洁机构，打磨机构包括气缸、固定架、电机、打磨刷、齿条、双向丝杆、齿轮、移动架、保护垫和移动轮，支撑架的上表面固定连接有气缸，气缸的活动端固定连接有固定架和电机，电机位于固定架的下表面，电机的输出端固定连接有打磨刷，固定架的圆周面固定连接有齿条，工作台的上表面活动连接有双向丝杆，本实用新型专利技术，可以固定夹紧定位槽中的溅射靶材来防止打磨操作时，溅射靶材发生位移导致打磨的光洁度和平面度达不到标准要求。光洁度和平面度达不到标准要求。光洁度和平面度达不到标准要求。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材打磨装置


[0001]本技术涉及溅射靶材加工设备领域，具体是一种溅射靶材打磨装置。

技术介绍

[0002]溅射靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
[0003]目前的溅射靶材打磨装置在进行打磨操作时，无法有效地对溅射靶材进行固定夹紧，容易导致因工作产生的震动导致溅射靶材的位置发生偏移，从而影响了溅射靶材表面的光洁度和平整度，以及打磨产生的飞屑，存在容易飞散在周围环境和不方便收集的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种溅射靶材打磨装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种溅射靶材打磨装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有支撑架，且支撑架的形状设置为L型，所述支撑架的上表面设置有打磨机构，所述工作台的下表面设置有清洁机构。
[0006]作为本技术进一步的方案：所述打磨机构包括气缸、固定架、电机、打磨刷、齿条、双向丝杆、齿轮、移动架、保护垫和移动轮，所述支撑架的上表面固定连接有气缸，所述气缸的活动端固定连接有固定架和电机，所述电机位于固定架的下表面，所述电机的输出端固定连接有打磨刷，所述固定架的圆周面固定连接有齿条，所述工作台的上表面活动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的圆周面滑动连接有移动架，且移动架的数量设置有两块，所述双向丝杆的圆周面固定连接有齿轮，所述移动架的侧表面固定连接有保护垫，所述移动架的下表面固定连接有移动轮，将溅射靶材放置在定位槽中，并打开气缸和电机进行工作，气缸工作带动固定架和电机下降，电机工作带动输出端的打磨刷进行转动来对溅射靶材进行打磨操作，固定架随着气缸输出端的下降的同时，带动圆周面上的齿条向下进行运动，齿条和齿轮相互啮合，使得齿轮带动双向丝杆发生转动，双向丝杆转动带动两块移动架进行运动，移动架通过移动轮可以减少运动的摩擦力并方便进行运动，待运动的合适的位置后，通过保护垫进行固定夹紧定位槽中的溅射靶材。
[0007]作为本技术再进一步的方案：两块所述移动架均与双向丝杆通过螺纹连接，两块所述移动架的内螺纹方向相反，方便通过双向丝杆转动从而带动两块移动架进行位移固定夹紧溅射靶材来防止发生位移。
[0008]作为本技术再进一步的方案：所述齿条和齿轮相互啮合，方便通过齿条随着气缸的活动端进行位移来带动齿轮发生转动，两块所述保护垫的形状均设置有凹字形，且凹部分为倾斜设置，方便进行固定保护溅射靶材的圆周面来防止压力过大导致损坏。
[0009]作为本技术再进一步的方案：所述工作台的上表面开设有定位槽，所述定位
槽的位置位于打磨刷的正下方，方便将溅射靶材进行定位放置并进行打磨加工操作。
[0010]作为本技术再进一步的方案：所述清洁机构包括清洁箱、负压风机、过滤板、过滤孔、拉门和观察窗，所述工作台的下表面固定连接有清洁箱，所述清洁箱的内部固定连接有负压风机和过滤板，所述过滤板的位置位于负压风机的上方，所述工作台和定位槽的内部均开设有过滤孔，所述清洁箱的前面活动连接有拉门，所述拉门的表面设置有观察窗，打磨产生大量的飞屑，通过负压风机的打开将产生的飞屑通过过滤孔吸收至清洁箱的内部，最后落入过滤板的上表面，因过滤板为倾斜设置，使得飞屑大量积累从而向下进行运动，使用者通过观察窗观察内部的飞屑含有量，并可以拉动拉门对飞屑进行清理。
[0011]作为本技术再进一步的方案：所述过滤板的形状为倾斜设置，方便飞屑积累一定的量自动滑入底端方便进行清理，所述过滤孔的数量设置有多个，所述负压风机的位置位于定位槽的正下方，方便快速产生吸风来将飞屑吸入过滤孔中从而到达清洁箱中。
[0012]有益效果
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]通过设置有打磨机构和清洁机构，当使用该装置进行打磨操作时，将溅射靶材放置在定位槽中，并打开气缸、电机和负压风机进行工作，气缸工作带动固定架和电机下降，电机工作带动输出端的打磨刷进行转动来对溅射靶材进行打磨操作，固定架随着气缸输出端的下降的同时，带动圆周面上的齿条向下进行运动，齿条和齿轮相互啮合，使得齿轮带动双向丝杆发生转动，双向丝杆转动带动两块移动架进行运动，移动架通过移动轮可以减少运动的摩擦力并方便进行运动，待运动的合适的位置后，通过保护垫进行固定夹紧定位槽中的溅射靶材来防止打磨操作时，溅射靶材发生位移导致打磨的光洁度和平面度达不到标准要求，打磨产生大量的飞屑，通过负压风机的打开将产生的飞屑通过过滤孔吸收至清洁箱的内部，最后落入过滤板的上表面，因过滤板为倾斜设置，使得飞屑大量积累从而向下进行运动，使用者通过观察窗观察内部的飞屑含有量，并可以拉动拉门对飞屑进行清理，减少了飞屑乱飞导致的环境污染，以及方便使用者对飞屑进行集中处理，减少清理的劳动强度。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术中的结构侧视图；
[0017]图3为本技术中的清洁机构的结构剖视图；
[0018]图4为本技术中的图2中A的局部放大图。
[0019]图中：1、工作台；11、定位槽；2、支撑架；3、打磨机构；4、清洁机构；31、气缸；32、固定架；33、电机；34、打磨刷；35、齿条；36、双向丝杆；37、齿轮；38、移动架；39、保护垫；310、移动轮；41、清洁箱；42、负压风机；43、过滤板；44、过滤孔；45、拉门；46、观察窗。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1～4，本技术实施例中，一种溅射靶材打磨装置，一种溅射靶材打磨装置，包括工作台1，工作台1的上表面固定连接有支撑架2，且支撑架2的形状设置为L型，支撑架2的上表面设置有打磨机构3，工作台1的下表面设置有清洁机构4。
[0022]作为本技术进一步的方案：打磨机构3包括气缸31、固定架32、电机33、打磨刷34、齿条35、双向丝杆36、齿轮37、移动架38、保护垫39和移动轮310，支撑架2的上表面固定连接有气缸31，气缸31的活动端固定连接有固定架32和电机33，电机33位于固定架32的下表面，电机33的输出端固定连接有打磨刷34，固定架32的圆周面固定连接有齿条35，工作台1的上表面活动连接有双向丝杆36，双向丝杆36的圆周面滑动连接有移动架38，且移动架38的数量设置有两块，双向丝杆36的圆周面固定连接有齿轮37，移动架38的侧表面固定连接有保护垫39，移动架38的下表面固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材打磨装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定连接有支撑架(2)，且支撑架(2)的形状设置为L型，所述支撑架(2)的上表面设置有打磨机构(3)，所述工作台(1)的下表面设置有清洁机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：所述打磨机构(3)包括气缸(31)、固定架(32)、电机(33)、打磨刷(34)、齿条(35)、双向丝杆(36)、齿轮(37)、移动架(38)、保护垫(39)和移动轮(310)，所述支撑架(2)的上表面固定连接有气缸(31)，所述气缸(31)的活动端固定连接有固定架(32)和电机(33)，所述电机(33)位于固定架(32)的下表面，所述电机(33)的输出端固定连接有打磨刷(34)，所述固定架(32)的圆周面固定连接有齿条(35)，所述工作台(1)的上表面活动连接有双向丝杆(36)，所述双向丝杆(36)的圆周面滑动连接有移动架(38)，且移动架(38)的数量设置有两块，所述双向丝杆(36)的圆周面固定连接有齿轮(37)，所述移动架(38)的侧表面固定连接有保护垫(39)，所述移动架(38)的下表面固定连接有移动轮(310)。3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：两块所述移动架(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：