【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及吊装装置，具体为一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置。
技术介绍
1、石墨旋转靶材是一种用于薄膜沉积的材料，具有高热导率和良好电子迁移性能。它通常由高纯度的石墨材料制成，经过特殊的加工和处理工艺后，形成旋转靶材的形状；
2、石墨旋转靶材主要用于物理气相沉积（pvd）和化学气相沉积（cvd）等薄膜制备技术中。它被安装在真空蒸发或溅射设备中，通过加热和粒子轰击等方式，将其表面的原子或分子释放到靶材的特定位置，沉积成所需的薄膜。
3、石墨旋转靶材具有高纯度、均匀性好、热应力小等优点，可用于制备各种金属、合金和化合物薄膜。它在半导体器件、光学薄膜、陶瓷薄膜和磁性薄膜等领域具有广泛的应用。此外，由于石墨材料具有良好的导电性能，石墨旋转靶材还可用于制备导电薄膜和导电涂层等应用中；
4、石墨旋转靶材是一种重要的材料，在薄膜沉积技术中发挥着重要的作用，为各种应用领域的薄膜制备提供了关键的材料基础。
5、目前的石墨旋转靶材在吊装过程中采用人工搬运的方式，这种方式增加了工作人员的工作量，影响了石墨旋转靶材上下料的速度和搬运效率。此外，由于石墨旋转靶材长度的限制，在搬运过程中可能会与墙角或工作人员发生擦碰，导致石墨旋转靶材表面凹陷，进而影响其质量并增加了在搬运过程中损坏的成本。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，解决了上述
技术介绍
所提出的问题。
2、本专利技术提供如下技术方案：一种石墨旋转靶材的防碰撞
3、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述滑轨组件包括有滑轨主体二、限位座和转轴座，所述滑轨主体二的顶部滑动套接有滑块主体二，所述滑块主体二的顶部固定装配有连接面板，所述连接面板的顶部固定装配有电线连接板，所述转轴座的内壁滑动套接有丝杆，所述丝杆的外壁设置有螺纹座，所述丝杆远离转轴座的一侧转动连接有连接座。
4、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述连接座远离丝杆的一侧设置有驱动电机二，所述驱动电机二通过连接座与丝杆固定装配，所述限位座的数量为两个，且两个限位座分别设置于滑轨主体二的两端，所述连接面板与螺纹座的顶部固定装配。
5、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述机械手组件包括有固定底座，所述固定底座的底部固定装配有轴体一，所述轴体一的底部转动连接有轴体二，所述轴体一的外壁固定装配有电缆连接板，所述轴体二的底部内壁转动连接有第三轴体，所述第三轴体远离轴体二的一端内壁转动连接有第四轴体，所述第四轴体远离第三轴体的一端转动连接有第五轴体，所述第五轴体远离第四轴体的一端内壁转动连接有第六轴体。
6、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述固定底座与连接面板的底部固定装配，所述固定底座位于方槽的内壁中，所述轴体二的顶部端点低于钢管框架顶部所设置的加强筋的位置，所述履带电线与电缆连接板电连接。
7、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述夹持组件包括有连接主体，所述连接主体的顶部开设有连接槽，所述连接主体的两侧外壁固定装配有固定块，所述固定块的两端固定装配有第一轴，所述连接主体的底部固定装配有液压伸缩器，所述液压伸缩器的底部伸缩端固定有第二轴，所述第二轴的外沿转动连接有夹板组件。
8、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述夹板组件包括有弧形夹板，所述弧形夹板的顶部外壁固定装配有支撑转轴，所述支撑转轴的中部外壁开设有圆形转槽，所述支撑转轴的顶部外壁开设有直口槽，所述弧形夹板的底部外壁开设有凹槽，所述凹槽靠近支撑转轴的一侧镶嵌有驱动设备，所述凹槽的内壁转动连接有光感设备。
9、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述夹板组件的数量为两组，且两组夹板组件通过第二轴呈“x”形设置，两组所述圆形转槽皆与第二轴转动连接，两组所述直口槽皆与第一轴滑动套接。
10、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述放置组件支架包括有滑轨主体一，所述滑轨主体一的顶部滑动套接有滑块主体一，所述滑块主体一的顶部固定装配有半圆形支板，所述滑轨主体一的外壁固定装配有固定座，所述固定座远离滑轨主体一的一侧外壁固定装配有驱动电机一，所述驱动电机一的动力输出轴与滑块主体一螺纹连接。
11、作为本专利技术的一种优选技术方案，所述放置组件支架的数量为四个，且两个放置组件支架为一组，一组所述放置组件支架横向设置于钢管框架的底部，另一组所述放置组件支架竖向设置于前一组放置组件支架的顶部，而该组所述放置组件支架与前一组所述放置组件支架中的滑块主体一固定装配，横向设置的所述放置组件支架中，不设置有半圆形支板。
12、本专利技术具备以下有益效果：
13、该石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，通过滑轨组件的设置，使得机械手组件实现移动，利用机械手组件的五轴移动，使夹持组件实现对石墨靶材任意方向的夹持，通过滑轨组件、机械手组件和夹持组件的设置，解决人工搬运过程中石墨靶材会发生擦碰的问题；
14、通过设置放置组件支架，使石墨靶材可进行放置，而通过设置钢管框架和滑轮，使设备可实现移动，从而解决人工搬运石墨靶材效率缓慢的问题，同时，利用液压伸缩器调整两组夹板组件之间的距离，使光感设备对石墨靶材进行扫描作业。
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1.一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，包括钢管框架（1），其特征在于：所述钢管框架（1）的底部固定装配有滑轮（2），所述钢管框架（1）的顶部固定装配有扶手（3），所述钢管框架（1）远离扶手（3）的一侧顶部固定装配有控制器（4），所述钢管框架（1）的底端固定装配有放置组件支架（5），所述钢管框架（1）的顶部开设有方槽（6），所述放置组件支架（5）的顶部放置有石墨靶材（12），所述钢管框架（1）的顶部固定装配有滑轨组件（7），所述滑轨组件（7）的底部固定装配有机械手组件（8），所述机械手组件（8）的底部固定装配有夹持组件（9），所述钢管框架（1）的中部内壁固定装配有固定板（10），所述固定板（10）的顶部固定装配有履带电线（11）。
2.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述滑轨组件（7）包括有滑轨主体二（701）、限位座（708）和转轴座（703），所述滑轨主体二（701）的顶部滑动套接有滑块主体二（702），所述滑块主体二（702）的顶部固定装配有连接面板（709），所述连接面板（709）的顶部固定装配有电线连接板（710），所述转轴座
3.根据权利要求2所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述连接座（706）远离丝杆（704）的一侧设置有驱动电机二（707），所述驱动电机二（707）通过连接座（706）与丝杆（704）固定装配，所述限位座（708）的数量为两个，且两个限位座（708）分别设置于滑轨主体二（701）的两端，所述连接面板（709）与螺纹座（705）的顶部固定装配。
4.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述机械手组件（8）包括有固定底座（801），所述固定底座（801）的底部固定装配有轴体一（802），所述轴体一（802）的底部转动连接有轴体二（804），所述轴体一（802）的外壁固定装配有电缆连接板（803），所述轴体二（804）的底部内壁转动连接有第三轴体（805），所述第三轴体（805）远离轴体二（804）的一端内壁转动连接有第四轴体（806），所述第四轴体（806）远离第三轴体（805）的一端转动连接有第五轴体（807），所述第五轴体（807）远离第四轴体（806）的一端内壁转动连接有第六轴体（808）。
5.根据权利要求4所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述固定底座（801）与连接面板（709）的底部固定装配，所述固定底座（801）位于方槽（6）的内壁中，所述轴体二（804）的顶部端点低于钢管框架（1）顶部所设置的加强筋的位置，所述履带电线（11）与电缆连接板（803）电连接。
6.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述夹持组件（9）包括有连接主体（901），所述连接主体（901）的顶部开设有连接槽（902），所述连接主体（901）的两侧外壁固定装配有固定块（903），所述固定块（903）的两端固定装配有第一轴（904），所述连接主体（901）的底部固定装配有液压伸缩器（905），所述液压伸缩器（905）的底部伸缩端固定有第二轴（906），所述第二轴（906）的外沿转动连接有夹板组件（907）。
7.根据权利要求6所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述夹板组件（907）包括有弧形夹板（9071），所述弧形夹板（9071）的顶部外壁固定装配有支撑转轴（9072），所述支撑转轴（9072）的中部外壁开设有圆形转槽（9073），所述支撑转轴（9072）的顶部外壁开设有直口槽（9074），所述弧形夹板（9071）的底部外壁开设有凹槽（9075），所述凹槽（9075）靠近支撑转轴（9072）的一侧镶嵌有驱动设备（9076），所述凹槽（9075）的内壁转动连接有光感设备（9077）。
8.根据权利要求7所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述夹板组件（907）的数量为两组，且两组夹板组件（907）通过第二轴（906）呈“X”形设置，两组所述圆形转槽（9073）皆与第二轴（906）转动连接，两组所述直口槽（9074）皆与第一轴（904）滑动套接。
9.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述放置组件支架（5）包括有滑轨主体一（501），所述滑轨主体一（501）的顶部滑动套接有滑块主体一（502），所述滑块主体一（502）的顶部固定装配有半圆形支板（503），所述滑轨...
【技术特征摘要】
1.一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，包括钢管框架（1），其特征在于：所述钢管框架（1）的底部固定装配有滑轮（2），所述钢管框架（1）的顶部固定装配有扶手（3），所述钢管框架（1）远离扶手（3）的一侧顶部固定装配有控制器（4），所述钢管框架（1）的底端固定装配有放置组件支架（5），所述钢管框架（1）的顶部开设有方槽（6），所述放置组件支架（5）的顶部放置有石墨靶材（12），所述钢管框架（1）的顶部固定装配有滑轨组件（7），所述滑轨组件（7）的底部固定装配有机械手组件（8），所述机械手组件（8）的底部固定装配有夹持组件（9），所述钢管框架（1）的中部内壁固定装配有固定板（10），所述固定板（10）的顶部固定装配有履带电线（11）。
2.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述滑轨组件（7）包括有滑轨主体二（701）、限位座（708）和转轴座（703），所述滑轨主体二（701）的顶部滑动套接有滑块主体二（702），所述滑块主体二（702）的顶部固定装配有连接面板（709），所述连接面板（709）的顶部固定装配有电线连接板（710），所述转轴座（703）的内壁滑动套接有丝杆（704），所述丝杆（704）的外壁设置有螺纹座（705），所述丝杆（704）远离转轴座（703）的一侧转动连接有连接座（706）。
3.根据权利要求2所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述连接座（706）远离丝杆（704）的一侧设置有驱动电机二（707），所述驱动电机二（707）通过连接座（706）与丝杆（704）固定装配，所述限位座（708）的数量为两个，且两个限位座（708）分别设置于滑轨主体二（701）的两端，所述连接面板（709）与螺纹座（705）的顶部固定装配。
4.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述机械手组件（8）包括有固定底座（801），所述固定底座（801）的底部固定装配有轴体一（802），所述轴体一（802）的底部转动连接有轴体二（804），所述轴体一（802）的外壁固定装配有电缆连接板（803），所述轴体二（804）的底部内壁转动连接有第三轴体（805），所述第三轴体（805）远离轴体二（804）的一端内壁转动连接有第四轴体（806），所述第四轴体（806）远离第三轴体（805）的一端转动连接有第五轴体（807），所述第五轴体（807）远离第四轴体（806）的一端内壁转动连接有第六轴体（808）。
5.根据权利要求4所述的一种石墨旋转靶材的防碰撞吊装装置，其特征在于：所述固定底座（801）与连接面板（709）的底部固定装配，所述固定底座（801）位于方槽（6）的内壁...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘洪强，孔伟华，刘秉宁，
申请(专利权)人：江苏东玖光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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