一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，属于NF3纯化技术领域。所述热解器包括裂解塔、填料、加热系统以及测温器件，裂解塔的直径为(500～1500)mm以及高度为(5000～15000)mm，填料填充在裂解塔的内部，加热系统用于对裂解塔加热，测温器件用于监测裂解塔内部的温度，主要是通过优化热解器的尺寸能够实现进气流量为(100～650)kg/h且N2F2含量不超过8vol％的NF3电解气的有效纯化。本实用新型专利技术所述热解器结构简单，可操作性强，运行安全，能够实现对大流量NF3电解气中高浓度N2F2的有效去除，效率高，耗能少，具有很好的应用前景。的应用前景。的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器


[0001]本技术涉及一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，属于NF3纯化


技术介绍

[0002]NF3气体广泛应用于高能激光、半导体技术及化学气相沉积等领域，具有很好的应用前景。目前NF3的制备方法主要有以下两种：(1)直接化合法：
①
气
‑
气反应：采用氟气(F2)与氨气(NF3)直接化合反应生成NF3；
②
气
‑
液反应：采用F2与液氨(或液态氟化氢铵(NH4HF2))反应、F2与尿素(NH2CONH2)反应生成NF3；
③
气
‑
固反应：F2与固体氟化铝铵反应生成NF3；(2)电解法：电解熔融NH4HF2/HF、电解NH3与HF。直接化合法合成过程不易控制，杂质含量较多，化学反应过程复杂；电解NH3与HF方法的弊端为NH3为有毒气体，接触易灼伤皮肤、眼睛及呼吸道黏膜；电解熔融NH4HF2/HF仅需一步即可制得NF3，且所用设备生产成本低，产品收率高，所以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，其特征在于：所述热解器包括裂解塔、填料、加热系统以及测温器件；所述裂解塔的直径为(500～1500)mm，高度为(5000～15000)mm，塔底加工有进气口，塔顶加工有出气口；所述填料填充在裂解塔的内部；所述加热系统用于对裂解塔加热；所述测温器件用于监测裂解塔内部的温度。2.根据权利要求1所述的一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，其特征在于：所述裂解塔的直径为(800～1200)mm，高度为(8000～13000)mm。3.根据权利要求1所述的一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，其特征在于：所述填料的比表面积为(100～400)m2/m3。4.根据权利要求1所述的一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，其特征在于：所述加热系统为电磁加热系统。5.根据权利要求4所述的一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，其特征在于：所述电磁加热系统包括交流电源、电磁加热器、发热体以及保温层；电磁加热器位于发热体与保温层之间，发热体的内型面与裂解塔的外型面共形，且发...

【专利技术属性】
技术研发人员：冀延治，宋富财，武建鹏，郝春辉，陈宝健，李海军，郑秋艳，申文超，张旭，罗文键，
申请(专利权)人：中船邯郸派瑞特种气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：