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本实用新型涉及一种用于纯化大流量NF3电解气中高浓度N2F2的热解器，属于NF3纯化技术领域。所述热解器包括裂解塔、填料、加热系统以及测温器件，裂解塔的直径为(500～1500)mm以及高度为(5000～15000)mm，填料填充在裂解塔的...
该专利属于中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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