一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机技术方案

本实用新型专利技术公开了一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上，固定板的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨道上。本实用新型专利技术在需要对阴极靶进行保养维修的时候，可把所有的阴极靶组拉出镀膜室，然后分别启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴极靶转动到合适方位上检修。与现有的镀膜机相比，检修方便，提高了工效，省时省工省力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及一种大型卷绕式磁控溅射镀膜机，尤其是涉及一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]真空卷绕镀膜设备是指应用物理气相沉积或化学气相沉积的方法在塑料薄膜、纸、布、涤棉、金属带等带状卷材表面进行连续镀膜技术，制作食品、药品、礼品等金属化包装材料或功能性与装饰性新材料的设备。真空卷绕镀膜的特点是对整卷柔性带材进行连续镀膜。
[0003]在现有的柔性带材卷绕镀膜设备的结构上仍然存有许多不足或待改进的地方，也需要花大力气去完善。比如大型卷绕式磁控溅射镀膜机的磁控溅射阴极，一般会选用多组大型圆柱状中频孪生靶来提高沉积速率，多组孪生靶的布局要围着有柔性带材绕贴着的水平设置的冷却辊四周，且孪生靶的溅射弧面正对冷却辊面，保证以接近垂直入射的方向进行沉积，并要保持最佳的靶基距。这样，各组靶多按平行于冷却辊以左右两侧高低对称分布，这些孪生靶组都比较重，且孪生靶组件会倾侧安装，溅射靶管不是朝上的，相邻的靶组还会相互遮挡，给阴极的保养、维修、更换工作，带来许多不便，费时费工费力。

技术实现思路

[0004]本技术所要解决的技术问题，就是提供一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，可以将各组阴极靶拉出镀膜机镀膜室以及旋转到合适的位置，以方便保养维修。
[0005]解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案如下：
[0006]一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶(磁控溅射阴极，每组两个靶，每个靶可绕自身轴线转动)，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上并可沿轨道移动，固定板的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨道上。
[0007]进一步地，所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上的结构为：
[0008]所述每组孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座支承于固定板、另一端则通过一阴极尾端支撑板可回转地支承于一平行于孪生靶轴线的阴极支撑座的尾端，阴极支撑座的首端则固定于阴极旋转座上、尾端则通过旋转固定板固定有水平的尾端旋转轴的一端，尾端旋转轴的另一端可回转地支承在一尾端支撑座上，尾端支撑
座吊在或支承在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道上(靠下方一组孪生靶其尾端支撑座则支承在上述炉内轨道上)，尾端旋转轴与阴极旋转座中心同轴线，阴极旋转座上的阴极孪生靶和阴极支撑座绕此同轴线一起转动。
[0009]更进一步地，所述的每组孪生靶的一端通过一绝缘固连的阴极旋转座支承于固定板的结构为：
[0010]所述固定板上开有大圆孔，大圆孔内通过滚珠支承有短管状连接件，短管状连接件的外端面固连有大齿轮、内端面焊接有竖板状的阴极旋转座，每组孪生靶绝缘固连在阴极旋转座上，孪生靶的靶头穿过阴极旋转座上的短管状连接件管孔伸出外侧，固定板的外侧还固设有旋转电机，其设有小齿轮与大齿轮啮合，阴极旋转座朝向镀膜室的一面开有密封圈槽装有密封圈。
[0011]再进一步地，所述的尾端支撑座吊在或支承一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道上的结构为：
[0012]炉体内轨道为在一块竖板的两面靠近底边处，对应地开设有两条水平凹槽，尾端支撑座的上端开有切口，切口的内侧对应地设有两个向内伸出的水平轴滚轮可行走在水平凹槽内起到吊起的功能，水平轴滚轮的下方，通过导向座设有两个垂直轴滚轮可行走在竖板底边的两面，尾端支撑座的下端内侧横向开设有盲孔，通过轴承可回转地支承着所述尾端旋转轴。当炉体内轨道处于下方，上述结构对称地朝下，所述水平轴滚轮
‑
行走在水平凹槽内起到支承的功能。
[0013]孪生靴靶与阴极旋转座相互绝缘。
[0014]进一步地，所述的旋转电机固定在一旋转电机固定板的外侧，旋转电机固定板内侧前后左右对称固定连接有四个旋转电机固定柱，以连接件穿过旋转电机固定板及固定柱的通孔后固定连接在固定板上，旋转电机的旋转电机轴贯穿所述旋转电机固定板并可回转地支承在固定板上的小圆孔内，小齿轮通过平键固定连接在旋转电机轴上位于固定板与旋转电机固定板之间的位置，小齿轮与固定板外侧的大齿轮相互啮合；所述旋转电机轴的前端部分套设有第四深沟球轴承，其外圈紧套在固定板的小圆孔内，所述旋转电机轴在小齿轮与第四深沟球轴承之间还套设有隔垫。
[0015]进一步地，所述轨道轮组件包括轨道轮固定座、轨道轮和移动电机，所述轨道轮固定座上部固定连接在固定板上，所述轨道轮固定座下部开设有一深切口，深切口两侧成左、右侧壁板，所述轨道轮设置在深切口内，且所述轨道轮滚动支承在所述机架的轨道上，所述移动电机固定连接在所述右侧壁板的外侧，所述左、右侧壁板上与移动电机的移动电机轴相对应的位置均开设有圆孔，所述移动电机的移动电机轴通过圆孔穿透左、右侧壁，所述轨道轮通过平键固定连接在移动电机轴上，所述移动电机轴在轨道轮的两侧套设有垫圈，在所述垫圈的外侧还套设有第二深沟球轴承。
[0016]进一步地，所述轨道轮固定座下部的两侧壁板下端钻转有纵向的盲孔，盲孔内插接固定有销轴，所述销轴下端头上安装有第三深沟球轴承，第三深沟球轴承横向抵着轨道侧面作限位运动。
[0017]优选的，所述轨道轮固定座侧边固定连接有线槽固定座，可以把各种引线放置在线槽固定座上。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0019](1)现有的柔性带材卷绕式多靶位磁控溅射镀膜机中，由于各阴极靶组靶位相对于水平方向倾斜角不同，对于保养维修或更换操作都不是最合适的方位，检修困难，工效低，费时费工费力。本技术方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，把阴极靶分组独立地安装在一个可转动机构上，在需要对阴极靶进行保养维修的时候，通过轨道轮组件，把整个阴极系统保养装置拉出镀膜室，然后分别启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴极靶组转动到合适方位上检修；与现有的卷绕式磁控溅射镀膜机相比，操作方便，提高了工效，省时省工省力。
[0020](2)本技术在固定板的外侧下部两侧设置轨道轮组件，能够轻松把整个阴极系统保养装置拉出镀膜室，节省了人力。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例的镀膜机主体与阴极组件拉出镀膜室外示意图；
[0022]图2为本技术实施例的阴极组件拉出镀膜室外正立视示意图；
[0023]图3为本技术实施例的阴极组件拉出镀膜室外左侧视示意图；
[0024]图4为本技术实施例的阴极组件拉出镀膜室外俯视示意图；
[0025]图5为本技术实施例的阴极系统保养装置的整本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室（1）和用于支承镀膜室的机架（10），所述镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，其特征在于：所述多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板（2）上，多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道（35）上并可沿轨道移动，固定板（2）的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室（1）外的机架（10）的轨道（9）上。2.根据权利要求1所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述多组孪生靶的另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道（35）上的结构为：每组所述孪生靶的一端可绕自身轴线回转地通过一绝缘固连的阴极旋转座（12）支承于固定板（2）、另一端则通过一阴极尾端支撑板（18）可回转地支承于一平行于孪生靶轴线的阴极支撑座（11）的尾端，阴极支撑座（11）的首端则固定于阴极旋转座（12）上、尾端则通过旋转固定板（13）固定有水平的尾端旋转轴（14）的一端，尾端旋转轴（14）的另一端可回转地支承在一尾端支撑座（15）上，尾端支撑座（15）吊在或支承在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道（35）上，尾端旋转轴（14）与阴极旋转座（12）中心同轴线，阴极旋转座（12）上的阴极孪生靶和阴极支撑座（11）绕此同轴线一起转动。3.根据权利要求2所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的每组孪生靶的一端通过一阴极旋转座（12）支承于固定板（2）的结构为：所述固定板（2）上开有大圆孔，大圆孔内通过滚珠（16）支承有短管状连接件（12
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2），短管状连接件（12
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2）的外端面固连有大齿轮、内端面焊接有竖板状的阴极旋转座（12），每组孪生靶绝缘固连在阴极旋转座（12）上，孪生靶的靶头穿过阴极旋转座（12）上的短管状连接件（12
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2）管孔伸出外侧，固定板（2）的外侧还固设有旋转电机（5），其设有小齿轮（33）与大齿轮（3）啮合，阴极旋转座（12）朝向镀膜室的一面开有密封圈槽（12
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1）装有密封圈。4.根据权利要求3所述的一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的尾端支撑座（15）吊在一平行于孪生靶轴向的炉体内轨道（35）上的结...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志方，陸创程，魏艳玲，
申请(专利权)人：广东汇成真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：