一种带平台透镜的波前测试方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及透镜检测技术领域，具体为一种带平台透镜的波前测试方法及装置，包括以下步骤：步骤一：干涉光路测试：干涉仪主机形成干涉条纹；步骤二：发射镜校正：使干涉仪主机和平面反射镜处于平行状态；步骤三：透镜安装：安装干涉仪物镜和测试夹具上；步骤四：透镜检测：打开干涉仪主机进行检测便可。本发明专利技术调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，使干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态，然后安装干涉仪物镜，将测试透镜平放在测试夹具内，再将测试夹具平放在平面反射镜上，测试透镜和测试夹具之间不会产生倾斜，测试夹具和反射镜之间紧密贴合，不会引入由于安装调节不到位而引入的倾斜，解决带平台透镜波前的快速测量问题。量问题。量问题。

【技术实现步骤摘要】
一种带平台透镜的波前测试方法及装置


[0001]本专利技术涉及一种透镜的波前测试方法及装置，特别是涉及一种带平台透镜的波前测试方法及装置，属于透镜检测


技术介绍

[0002]平台透镜的波前测试装置主要应用于带平台光学元件的波前测试，传统的装置采用立式的干涉光路进行测试，利用平台定位，比传统的卧式干涉光路更为便捷，适用于大批量快速测量应用，传统的卧式干涉光路调试比较困难，容易引入较大的系统调试误差，而立式的可以有效利用透镜平台进行定位，无需复杂的调节，有效避免由于调节不到位引入的倾斜误差。
[0003]另外，卧式的干涉测试结构中，透镜靠柱体定位，容易滚动，且由于重力 发生倾斜，而立式的测试结构，透镜可以靠重力水平安装在测试夹具中。
[0004]因此，亟需对透镜的波前测试方法及装置进行改进，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种带平台透镜的波前测试方法及装置，调整平面反射镜的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，使干涉仪主机和平面反射镜之间处于平行状态，然后安装干涉仪物镜，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带平台透镜的波前测试方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：干涉光路测试：取下干涉仪物镜（2），移开测试夹具（17）以及测试透镜（11），使干涉仪主机（1）发出的光线直接经过反射镜反射原路返回，形成干涉条纹；步骤二：发射镜校正：通过校正螺母（9）调整平面反射镜（5）的俯仰倾斜角度，将条纹调至零级状态，则表示干涉仪主机（1）和平面反射镜（5）之间处于平行状态；步骤三：透镜安装：然后安装干涉仪物镜（2），将测试透镜（11）平放在测试夹具（17）上，此时，透镜平台与测试夹具平台贴合，测试夹具下表面与反射镜贴合；步骤四：透镜检测：打开干涉仪主机（1）对测试透镜（11）进行检测便可。2.根据权利要求1所述的一种带平台透镜的波前测试方法，其特征在于：所述步骤一具体为：通过干涉条纹对平面反射镜（5）进行校平，或者通过平面反射镜（5）上的校平箱（8）查看平面反射镜（5）的水平状态，在通过校正螺母（9）对平面反射镜（5）进行调平。3.一种带平台透镜的安装方法，其特征在于，包括以下方法：首先通过下层活动夹具（402）上的第二传动螺母（16）移动下层夹具机构（4）之间的间距；在通过上层夹具机构（3）上的第一传动螺母（15）调整上层夹具机构（3）之间的间距；最后将测试透镜（11）放置在测试夹具（17）上；其中，测试夹具（17）与平面反射镜（5）活动连接，测试夹具（17）放置在平面反射镜（5）的上侧面。4.一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述包括干涉仪主机（1）以及设置在所述干涉仪主机（1）正下方的所述测试夹具（17），所述平面反射镜（5）设置在所述测试夹具（17）的底侧面；所述测试透镜（11）设置在所述测试夹具（17）上，所述测试透镜（11）设置在所述干涉仪物镜（2）的正下方。5.根据权利要求4所述的一种带平台透镜的波前测试的装置，其特征在于：所述测试夹具（17）包括上层夹具机构（3）和下层夹具机构（4），所述上层夹具机构（3）设置在所述下层夹具机构（4）的上方；所述下层夹具机构（4）包括下层固定夹具（401）和下层活动夹具（402），所述下层固定夹具（401）和所述下层活动夹具（402）通过推进轴（404）连接，所述推进轴（404）贯穿所述下层活动夹具（402）并连接有第二传动螺母（16），所述第二传动螺母（16）用于固定所述下层固定夹具（401）与所述下层活动夹具（402）之间的间距；所述下层固定夹具（401）上设置有导向定位轴（403），所述导向定位轴（403）贯穿所述下层活动夹具...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯亮，衣丽霞，梅珊珊，
申请(专利权)人：光皓光学江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：