积层结构体及积层结构体的制造方法技术

本发明专利技术的课题在于提供一种积层结构体(1)，所述积层结构体(1)能够防止或抑制含有扩散成分的层(12、16)中的该扩散成分向与该层(12、16)邻接的层(14、17)扩散。本发明专利技术的积层结构体(1)具有：导电层(12、16)，具有导电性，并且含有能够向邻接的层(14、17)扩散的扩散成分；及导电性扩散防止层(14、17)，以与导电层(12、16)邻接的方式设置，含有至少1种金属或金属氧化物以具有导电性，并且含有稀有气体，所述稀有气体的原子数相对于至少1种金属或金属氧化物中的主金属的原子数的比率为0.40以上。物中的主金属的原子数的比率为0.40以上。物中的主金属的原子数的比率为0.40以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】积层结构体及积层结构体的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种积层结构体及积层结构体的制造方法。

技术介绍

[0002]积层结构体是通过使多层以相互邻接的方式重叠来构成的。积层结构体中，各层具有导电性或半导电性或绝缘性等功能。通过组合各层的功能，实现积层结构体整体的功能。这种积层结构体中，一层所具有的能够扩散的扩散成分会向与该一层邻接的另一层扩散，结果有时会产生积层结构体整体性能降低的问题。
[0003]作为积层结构体的一例，可例举异质结型光电转换装置(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的异质结型光电转换装置具有：钝化层，包含氢封端非晶硅；及透明导电层，以与钝化层邻接的方式设置，包含ITO(氧化铟锡)。这种异质结型光电转换装置例如在制造步骤中，氢会从钝化层向透明导电层扩散，结果，有时会产生光电转换装置的性能(例如发电效率)降低的问题。该问题并不限于异质结型光电转换装置，而是积层结构体中均可能产生的问题。
[0004]
技术介绍
文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：国际公开第2013/061637本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种积层结构体，其具有：导电层，具有导电性，并且含有能够向邻接的层扩散的扩散成分；及导电性扩散防止层，以与所述导电层邻接的方式设置，含有至少1种金属或金属氧化物以具有导电性，并且含有稀有气体，所述稀有气体的原子数相对于所述至少1种金属或金属氧化物中的主金属的原子数的比率为0.40以上。2.根据权利要求1所述的积层结构体，其中所述稀有气体是选自由氦、氖、氩、氙及氪所组成的群中的至少1种。3.根据权利要求1或2所述的积层结构体，其中所述扩散成分是原子量小于所述稀有气体的非金属元素。4.根据权利要求1至3中任一项所述的积层结构体，其中所述积层结构体为光电转换装置。5.根据权利要求4所述的积层结构体，其中所述光电转换装置为异质结型光电转换装置。6.根据权利要求4所述的积层结构体，其中所述光电转换装置为钙钛矿型光电转换装置。7.根据权利要求4所述的积层结构体，其中所述光电转换装置为有机物光电转换装置。8.根据权利要求4所述的积层结构体，其中所述光电转换装置为有机电致发光型发光装置。9.根据权利要求4至6中任一项所述的积层结构体，其中所述导电层是含有氢作为所述扩散成分的钝化层。10.根据权利要求4、7或8所述的积层结构体，其中所述导电层包含有机物。11.根据权利要求4至10中任一项所述的积层结构体，其中所述导电性扩散防止层是透明且具有导电性的透明导电层。12.根据权利要求4至11中任一项所述的积层结构体，其中所述导电性扩散防止层含有选自由铟、锌及锡所组成的群中的至少1种元素作为所述主金属。13.一种积层结构体的制造方法，所述积层结构体具有：导电层，具有导电性，并且含有能够向邻接的层扩散的成分；及导电性扩散防止层，以与所述导电层邻接的方式设置，含有至少1种金属或金属氧化物以具有导电性，并且含有稀有气体；所述制造方法具有以下步骤：准备形成着导电层的结构体；及使用具有溅镀靶的溅镀阴极，所述溅镀靶具有横截面形状具有相互对向的一对长边部的管状形状，且含有所述至少1种金属或金属氧化物的剥蚀面朝向内...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩田寛，
申请(专利权)人：京浜乐梦金属科技株式会社，
类型：发明
国别省市：