一种硅片切片机供液系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种硅片切片机供液系统，包括切割液储筒、切割水储筒和导流系统，所述切割液储筒包括筒体，所述筒体连接搅拌机构、计量泵和液位计，所述搅拌机构包括位于筒体内的搅拌杆和连接于筒体上的搅拌驱动部件，所述计量泵连接切割液储筒和切割水储筒，所述导流系统连接于切片机的机舱内，所述导流系统包括导流箱，所述导流箱一侧连接倾斜导流板，所述导流箱通过管道与切割水储筒连通，所述硅片切片机供液系统，切割液搅拌均匀，并与切割水定量混合后通过导流系统均匀导流，保证切割液分布均匀，冷却效果好。冷却效果好。冷却效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片切片机供液系统


[0001]本技术涉及供液系统，尤其涉及一种硅片切片机供液系统。

技术介绍

[0002]硅片切片机是通过金刚丝切割硅锭制成硅片的线切割设备，切割时需要通过切割液进行切割冷却，传统的切割液供液系统存在，切割液搅拌不均匀，供液不均匀。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术的缺点，本技术的目的是提供一种硅片切片机供液系统，以解决现有技术中的一个或多个问题。
[0004]为实现上述目的，本技术的技术方案如下：
[0005]一种硅片切片机供液系统，包括切割液储筒、切割水储筒和导流系统，所述切割液储筒包括筒体，所述筒体连接搅拌机构、计量泵和液位计，所述搅拌机构包括位于筒体内的搅拌杆和连接于筒体上的搅拌驱动部件，所述计量泵连接切割液储筒和切割水储筒，所述导流系统连接于切片机的机舱内，所述导流系统包括导流箱，所述导流箱一侧连接倾斜导流板，所述导流箱通过管道和水泵与切割水储筒连通。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进：
[0007]所述切割液储筒下侧设置有称重机构。
[0008]所述导流箱中央通过连接座连接水平布置的布水管，所述布水管两端开口，中部通过管道连接切割水储筒。
[0009]所述切片机的机舱内两侧设置卡接导流箱的第一卡座，配合所述第一卡座所述导流箱两侧均连接卡板。
[0010]所述第一卡座下端通过螺母连接顶升螺杆，所述第一卡座前侧连接夹紧卡板的夹紧螺杆。
[0011]所述切片机的机舱内还连接冲洗机构，所述冲洗机构包括连接在切片机的机舱内的若干冲洗管和冲洗水箱，所述冲洗水箱通过水泵和管道连接冲洗管，所述冲洗管连接若干接头，所述接头转动连接万向喷头。
[0012]所述切片机的机舱内两侧设置卡接冲洗管的第二卡座。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益技术效果如下：
[0014]1)通过搅拌机构保证切割液搅拌均匀，并通过计量泵定量输送切割液至切割水储筒与定量的切割水混合，配置成冷却液用于硅片切片机内的金刚丝冷却；
[0015]2)通过液位计和称重机构，可双重检测切割液储筒内切割液输送量，保证切割液供给量精准，配置的切割冷却液浓度精准；
[0016]3)设置冲洗机构，可冲洗掉切片机的机舱内硅粉，保证切片机的机舱干净。
附图说明
[0017]图1示出了本技术的硅片切片机供液系统的结构示意图。
[0018]图2示出了本技术的硅片切片机供液系统导流箱的安装示意图。
[0019]附图中标记：
[0020]1、切割液储筒；11、筒体；12、搅拌机构；13、计量泵；14、液位计；15、称重机构；2、切割水储筒；3、导流系统；31、导流箱；311、卡板；32、倾斜导流板；33、布水管；4、机舱；41、第一卡座；411、顶升螺杆；412、夹紧螺杆；42、第二卡座；5、冲洗系统；51、冲洗管；511、接头；512、万向喷头；52、冲洗水箱。
具体实施方式
[0021]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图和具体实施方式对本技术提出的装置作进一步详细说明。根据下面的说明，本技术的优点和特征将更加清楚。需要说明的是，附图采用了非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施方式的目的。为了使本技术的目的、特征和优点能够更加明显易懂，请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术实施的限定条件，故不具有技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应落在本技术所揭示的
技术实现思路
能涵盖的范围内。
[0022]如图1、图2所示，本实施例的硅片切片机供液系统，包括切割液储筒1、切割水储筒2和导流系统3，切割液储筒1包括筒体11，切割液储筒1的筒体11下侧设置有称重机构15，筒体11连接搅拌机构12、计量泵13和液位计14，搅拌机构12包括位于筒体11内的搅拌杆和连接于筒体11上的搅拌驱动部件，计量泵13连接切割液储筒1和切割水储筒2，导流系统3连接于切片机的机舱4内，导流系统3包括导流箱31，导流箱31一侧连接倾斜导流板32，导流箱31中央通过连接座连接水平布置的布水管33，布水管33两端开口，布水管33中部通过管道和水泵连接切割水储筒2。
[0023]切片机的机舱4内两侧设置卡接导流箱31的第一卡座41，配合第一卡座41导流箱31两侧均连接卡板311，第一卡座41下端通过螺母连接顶升螺杆411，第一卡座41前侧连接夹紧卡板311的夹紧螺杆412，导流箱31通过卡板311卡接在两个第一卡座41之间，通过顶升螺杆411可将卡板311顶起，可调节导流箱31的高度，高度调节完成后，在通过夹紧螺杆412夹紧固定卡板311定位住导流箱31。
[0024]切片机的机舱4内还连接冲洗系统5，冲洗系统5包括连接在切片机的机舱4内的若干冲洗管51和冲洗水箱52，冲洗水箱52通过管道和水泵连接冲洗管51，冲洗管51连接若干接头511，接头511转动连接万向喷头512。
[0025]切片机的机舱4内两侧设置卡接冲洗管51的第二卡座42，冲洗管51可拆卸的卡接在两个第二卡座42之间。
[0026]本实施例的硅片切片机供液系统使用时，将切割液补充到切割液储筒1内，通过搅拌机构12的搅拌驱动部件带动搅拌杆转动，将切割液搅拌均匀，然后通过计量泵13，可将切割液定量送入切割水储筒2，并与切割水储筒2内的切割水混合形成切割用的冷却液，冷却
液通过切割水储筒2的水泵供给给导流系统3，冷却先进入布水管33，并从布水管33两端开口进入导流箱31，并从前侧溢流至倾斜导流板32，并通过倾斜导流板32导流后，均匀流动至金刚丝上，用于冷却金刚丝；切割结束后，可通过冲洗水箱52给冲洗管51供给冲洗水，冲洗水从万向喷头512喷出，可冲洗切片机的机舱4内部，将切片机的机舱4内部的硅粉冲洗掉，保持切片机的机舱4干净。
[0027]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书所记载的范围。
[0028]以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都应当属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片切片机供液系统，其特征在于：包括切割液储筒、切割水储筒和导流系统，所述切割液储筒包括筒体，所述筒体连接搅拌机构、计量泵和液位计，所述搅拌机构包括位于筒体内的搅拌杆和连接于筒体上的搅拌驱动部件，所述计量泵连接切割液储筒和切割水储筒，所述导流系统连接于切片机的机舱内，所述导流系统包括导流箱，所述导流箱一侧连接倾斜导流板，所述导流箱通过管道和水泵与切割水储筒连通。2.如权利要求1所述的硅片切片机供液系统，其特征在于：所述切割液储筒下侧设置有称重机构。3.如权利要求1所述的硅片切片机供液系统，其特征在于：所述导流箱中央通过连接座连接水平布置的布水管，所述布水管两端开口，中部通过管道连接切割水储筒。4.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯震坤，王臻，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：