一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴制造技术

本实用新型专利技术涉及CDU主轴技术领域，具体为一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，包括主轴本体和碳刷，所述主轴本体与所述碳刷间设置有防护件，所述防护件包括：左电极导电板、右电极导电板和连接件，且所述左电极导电板和右电极导电板通过连接件连接固定后套接在所述主轴本体的外表面，且所述碳刷通过所述左电极导电板和右电极导电板为所述主轴本体供电。该应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，通过设置在主轴本体上的防护件可以起到防护作用，使碳刷与主轴本体间的摩擦损耗转化为碳刷与左电极导电板和右电极导电板间的摩擦损耗，可以在其出现损耗后进行拆换，操作简便，解决碳刷与主轴本体间易发生摩擦损耗的问题。刷与主轴本体间易发生摩擦损耗的问题。刷与主轴本体间易发生摩擦损耗的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴


[0001]本技术涉及CDU主轴
，具体为一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴。

技术介绍

[0002]CDU(阴极驱动模组CathodeDriveUnit)在LCD/OLED及半导体行业中的PVD设备中起着广泛作用，主要用于驱动靶材和磁铁旋转，并起着到导电作用。PVD设备中需要用到碳刷与CDU主轴进行接触导电，由于CDU主轴在作业过程中需要不停旋转，因此碳刷与CDU主轴之间会出现摩擦损耗，碳刷磨损后产生的碳粉残留易造成放电异常，从而造成CDU主轴烧毁，同时，CDU主轴在PVD设备中用于连接真空与大气，要求密封性极佳，更换CDU主轴易造成设备内部漏气，且内部构架复杂，维修成本较高，维修耗时耗力。鉴于此，我们提出一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，包括主轴本体和碳刷，所述主轴本体与所述碳刷间设置有防护件，所述防护件包括：左电极导电板、右电极导电板和连接件，且所述左电极导电板和右电极导电板通过连接件连接固定后套接在所述主轴本体的外表面，且所述碳刷通过所述左电极导电板和右电极导电板为所述主轴本体供电。
[0006]优选的，所述连接件设置有四组，分别布置在所述左电极导电板和右电极导电板两侧连接的处的上下两端，包括：转轴、限位板和卡销，其中，所述转轴固定在所述左电极导电板上，所述卡销固定在所述右电极导电板上，所述限位板的一端转动连接在所述转轴上，另一端卡接在所述卡销上。
[0007]优选的，所述限位板的端部设置有卡接缺口，且所述限位板通过所述卡接缺口卡接在所述卡销上。
[0008]优选的，所述限位板的外表面还设置有拨片。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，通过设置在主轴本体上的防护件可以起到防护作用，使碳刷与主轴本体间的摩擦损耗转化为碳刷与左电极导电板和右电极导电板间的摩擦损耗，同时，由于左电极导电板和右电极导电板通过连接件相连，可以在其出现损耗后进行拆换，无需对主轴本体所在的PVD设备进行拆修维护，操作简便，解决碳刷与主轴本体间易发生摩擦损耗的问题。
附图说明
[0010]图1为本技术的整体结构示意图；
[0011]图2为本技术中防护件的整体结构示意图；
[0012]图3为本技术中连接件安装位置的局部放大图。
[0013]图中：1、主轴本体；2、碳刷；3、防护件；31、左电极导电板；32、右电极导电板；33、连接件；331、转轴；332、限位板；333、卡销；334、卡接缺口；335、拨片。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0016]在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。
[0017]请参阅图1
‑
图3所示，本技术提供的一种技术方案：
[0018]一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，包括主轴本体1和碳刷2，主轴本体1与碳刷2间设置有防护件3，防护件3包括：左电极导电板31、右电极导电板32和连接件33，且左电极导电板31和右电极导电板32通过连接件33连接固定后套接在主轴本体1的外表面，且碳刷2通过左电极导电板31和右电极导电板32为主轴本体1供电。因此，通过设置在主轴本体1上的防护件3可以起到防护作用，使碳刷2与主轴本体1间的摩擦损耗转化为碳刷2与左电极导电板31和右电极导电板32间的摩擦损耗，同时，由于左电极导电板31和右电极导电板32通过连接件33相连，可以在其出现损耗后进行拆换，无需对主轴本体1所在的PVD设备进行拆修维护，操作简便，解决碳刷2与主轴本体1间易发生摩擦损耗的问题。
[0019]值得说明的是，左电极导电板31和右电极导电板32优选铜质材料制成，该材质具有良好的导电性能。
[0020]进一步的，连接件33设置有四组，分别布置在左电极导电板31和右电极导电板32两侧连接的处的上下两端，包括：转轴331、限位板332和卡销333，其中，转轴331固定在左电极导电板31上，卡销333固定在右电极导电板32上，限位板332的一端转动连接在转轴331上，另一端卡接在卡销333上。因此通过连接件33拆分左电极导电板31和右电极导电板32时，只需通过转轴331转动连接在左电极导电板31上的限位板332，使其端部的与右电极导电板32上的卡销333分离，并将左电极导电板31与右电极导电板32分离即可，操作简便。
[0021]除此之外，限位板332的端部设置有卡接缺口334，且限位板332通过卡接缺口334卡接在卡销333上。本实施例中的卡接缺口334呈大于半圆形设置，使卡接缺口334与卡销333卡接更加稳固。
[0022]具体的，限位板332的外表面还设置有拨片335，便于利用拨片335对限位板332进行旋转，方便其与卡销333卡接及分离。
[0023]本实施例的应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴在使用时，通过设置在主轴本体1上的防护件3可以起到防护作用，使碳刷2与主轴本体1间的摩擦损耗转化为碳刷2与左电极导电板31和右电极导电板32间的摩擦损耗，同时，由于左电极导电板31和右电极导电板32通过连接件33相连，可以在其出现损耗后进行拆换，具体的，只需通过转轴331转动连接在左电极导电板31上的限位板332，使其端部的与右电极导电板32上的卡销333分离，并将左电极导电板31与右电极导电板32分离即可，操作简便，无需对主轴本体1所在的PVD设备进行拆修维护，解决碳刷2与主轴本体1间易发生摩擦损耗的问题。
[0024]以上显示和描述了本技术的基本原理、主要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，包括主轴本体(1)和碳刷(2)，其特征在于：所述主轴本体(1)与所述碳刷(2)间设置有防护件(3)，所述防护件(3)包括：左电极导电板(31)、右电极导电板(32)和连接件(33)，且所述左电极导电板(31)和右电极导电板(32)通过连接件(33)连接固定后套接在所述主轴本体(1)的外表面，且所述碳刷(2)通过所述左电极导电板(31)和右电极导电板(32)为所述主轴本体(1)供电。2.根据权利要求1所述的应用于金属溅射镀膜机的新型CDU主轴，其特征在于：所述连接件(33)设置有四组，分别布置在所述左电极导电板(31)和右电极导电板(32)两侧连接的处的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈成，洪振天，陈可波，杨旭可，吴昭宽，
申请(专利权)人：深圳市尊绅投资有限公司，
类型：新型
国别省市：