【技术实现步骤摘要】
一种微发光二极管显示结构、显示器及制作方法
[0001]本申请涉及半导体
,尤其涉及一种微发光二极管显示结构、显示器及制作方法。
技术介绍
[0002]微发光二极管(Micro
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Light Emitting Diode,Micro
‑
LED)是一种近似朗伯光源的显示器件,兼具高亮度、低功耗、快响应、宽视角、自发光、长寿命、高分辨率等诸多优点,符合用户对高质量显示的需求。
[0003]然而,随着Micro
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LED的小型化发展,其侧向面积占据整体面积的比值越来越大,使得Micro
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LED的侧向发光不可忽视。在全彩Micro
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LED显示器件中,相邻两Micro
‑
LED芯片之间易出现光串扰问题,从而造成全彩Micro
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LED显示器件对比度、饱和度等下降,影响全彩Micro
‑
LED显示器件的显示效果。
技术实现思路
[0004]本申请提供了一种微发光 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,包括:提供衬底,在所述衬底的一表面生长外延层,所述外延层包括层叠设置的N型半导体层、发光层和P型半导体层,所述P型半导体层远离所述衬底设置;将所述外延层由所述P型半导体层刻蚀至所述N型半导体层,以生成若干个发光单元和若干个挡光墙,任一所述发光单元周向的至少一侧设置有所述挡光墙;至少在所述挡光墙靠近所述发光单元的一侧表面制备反光层。2.根据权利要求1所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,所述至少在所述挡光墙靠近所述发光单元的一侧表面制备反光层包括:通过薄膜制备方法在所述挡光墙靠近所述发光单元的一侧表面及远离所述发光单元的一侧表面沉积所述反光层,所述反光层的光反射率大于或等于90%。3.根据权利要求1所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,所述将所述外延层由所述P型半导体层刻蚀至所述N型半导体层,以生成若干个发光单元和若干个挡光墙包括:在所述外延层远离所述衬底的一侧表面设置掩膜层,以确定刻蚀区域和非刻蚀区域,所述若干个发光单元和所述若干个挡光墙位于所述非刻蚀区域;通过电感耦合等离子体刻蚀机将所述刻蚀区域刻蚀至所述N型半导体层;清洗所述掩膜层。4.根据权利要求1至3任一项所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,在平行于所述衬底的方向,将所述发光单元刻蚀成截面为圆形;将所述挡光墙刻蚀为平板状;所述挡光墙的长度n大于或等于所述发光单元的直径d1。5.根据权利要求1至3任一项所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,在平行于所述衬底的方向,将所述发光单元刻蚀成截面为正多边形,所述正多边形的边数大于或等于五,使所述挡光墙与所述发光单元周向的一侧面相对;所述挡光墙的长度n大于或等于所述发光单元外切圆的直径d2。6.根据权利要求1至3任一项所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,将所述挡光墙环绕所述发光单元的周向设置一圈。7.根据权利要求1所述的微发光二极管显示结构制作方法,其特征在于,将所述外延层由所述P型半导体层刻蚀至所述N型半导体层,以生成...
【专利技术属性】
技术研发人员:管云芳,莫炜静,
申请(专利权)人:深圳市思坦科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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