【技术实现步骤摘要】
全自动晶圆分选机旋转取料结构
[0001]本专利技术涉及一种全自动晶圆分选机,更具体的说,涉及一种全自动全自动晶圆分选机的取料结构。
技术介绍
[0002]在现有技术中,晶片分选机需要对通过测试后的不同电子数据晶片进行分选,几百或几千个不同数据的晶片附着于一块基片中,多个基片竖放于一个基片槽中。当前技术具备有自动化的分选设备,但是,由于当前技术中的分选设备存在着固晶结构的精度差的技术问题,在晶片分选时,容易出现行程伸缩过大或过小,并且由于晶片体积细小,不能精确对准晶片进行取晶固定是现有技术中设备存在的技术缺陷,当前取晶片工序的自动化设备存在着精度差的技术缺陷,成为本领域技术人员急待解决的技术问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的技术目的是克服现有技术中,取晶片工序存在着精度差、效率低的技术问题;提供一种通过摆臂及吸附结构,定位精确的全自动晶圆分选机旋转取料结构。
[0004]为实现以上技术目的,本专利技术的技术方案是:
[0005]全自动晶圆分选机旋转取料结构,包括有旋转电机,所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座,在所述摆臂机座上设有摆臂,在所述摆臂的上端设有吸嘴,所述吸嘴连通吸放气缸。
[0006]更进一步的,所述摆臂的一侧设有旋转螺杆套件,所述旋转螺杆套件上设有紧固弹簧。
[0007]更进一步的,所述摆臂分别设有左摆臂及右摆臂。
[0008]本专利技术的有益技术效果是:通过旋转电机的精确旋转,可将将摆臂基座及摆臂旋转到准确的工位,通过吸嘴将细小的晶片 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.全自动晶圆分选机旋转取料结构,其特征是:包括有旋转电机,所述旋转电机的电机轴上设有一摆臂基座,在所述摆臂机座上设有摆臂,在所述摆臂的上端设有吸嘴,所述吸嘴连通吸放气缸。2.根据权利要求1所述的全自动晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:邓朝旭,
申请(专利权)人:深圳市朝阳光科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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