一种退火炉管加热结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种退火炉管加热结构，属于晶硅太阳能电池生产制造技术领域，包括：退火炉保温壳，所述退火炉保温壳中至少设置有温度不同的第一温区和第二温区，且第一温区、第二温区的温度可分别通过加热系统进行独立调节；以及退火石英炉管，所述退火石英炉管中放置有石英舟，所述退火石英炉管设置在退火炉保温壳的内腔中，且退火石英炉管和退火炉保温壳之间可发生相对移动。本实用新型专利技术提供了退火炉管加热结构，将退火石英炉管与加热的腔室分离，使得退火石英炉管可以快速移动至高温区进行加热，或者移动至低温区进行降温，无需等待加热丝逐步升温，降温也快捷，避免了传统密封式结构导致热量难以散发的弊端，从而显著提高了处理效率。了处理效率。了处理效率。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉管加热结构


[0001]本技术涉及晶硅太阳能电池生产制造
，具体为一种退火炉管加热结构。

技术介绍

[0002]退火工序是在刻蚀工序之后，采用管式加热炉、温度稳定在500
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600摄氏度左右、持续30min左右的一个工序，同时通入氧气，在这个过程中会在电池片的正面生长一层2
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5纳米厚的氧化硅薄层。这个工序主要有两个作用，一个是退火的作用，可以将扩散和制绒工序、刻蚀工序以及SE工序对硅片表面的绒面以及内部晶格的破坏进行稳定和恢复，减少硅片内部的缺陷，另一方面氧化层对硅片会有很强的钝化吸杂的效果，进一步降低硅片表面的缺陷。最后退火工序生成的氧化硅薄层对电池片的抗PID具有明显的效果，可以隔绝硅片与组件的玻璃以及EVA中的金属离子的渗入。
[0003]现有技术中，申请号为“201710596303.8”的一种石英管加热导流模组，包括导流块、发热石英管和传导介质，所述导流块内设有若干插口，各个插口通过通道与吸热装置连通，发热石英管密封插设于与导流块的插口内，发热石英管内侧与插口内部连通，所述发热石英管内侧形成曲线形的流道，传导介质在发热石英管内沿曲线形的流道流动，该石英管加热导流模组加大了传导介质的传导路程，增加了传导面积，又增加了流体介质吸热的均匀性，提高了发热石英管的传导热效率，加快了传导速度，节省了能源，并通过在直管装发热石英管内设置螺旋形导流棒实现传导介质在螺旋形传导路径内流动，降低了加工成本，提高了结构稳定性和热传导效率。
[0004]但是，其在使用过程中，仍然存在较为明显的缺陷：1、在使用上述装置时，需要通入传热介质，但是热传导的速率较慢，升温速度会受到设备的限制不能够达到立刻升温，降低处理效率；2、石英管加热导流模组需要在升温和降温之间切换，尤其是在降温过程中，上述装置中设置有密封件，即使立即停止加热，石英管内的热量仍然难以散失，所以降温速度非常缓慢，严重影响加工效率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种退火炉管加热结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种退火炉管加热结构，包括：
[0008]退火炉保温壳，所述退火炉保温壳中至少设置有温度不同的第一温区和第二温区，且第一温区、第二温区的温度可分别通过加热系统进行独立调节；以及
[0009]退火石英炉管，所述退火石英炉管上可拆卸地设置有退火炉管炉门，所述退火石英炉管中放置有石英舟，所述退火石英炉管设置在退火炉保温壳的内腔中，且退火石英炉管和退火炉保温壳之间可发生相对移动。
[0010]优选的，所述加热系统包括加工区加热管、加工区加热丝和加工区温控旋钮，所述加工区加热管上缠绕设置有加工区加热丝，所述退火炉保温壳的外壁上设置有加工区温控旋钮，所述加工区温控旋钮和相应的加工区加热丝电性连接。
[0011]优选的，位于第一温区的所述加工区加热丝的间隔为mm
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mm，位于第二温区的所述加工区加热丝的间隔为mm
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mm。
[0012]优选的，所述退火石英炉管可在退火炉保温壳中发生移动。
[0013]优选的，所述退火炉保温壳的底部铰接设置有多个传动辊，所述传动辊可由动力源驱动进而对退火石英炉管进行传动。
[0014]优选的，所述退火石英炉管的位置固定，且所述退火炉保温壳可相对退火石英炉管发生移动。
[0015]优选的，所述退火炉保温壳固定于推动气缸的输出端，所述退火炉保温壳的底部活动设置在导向轨上，所述导向轨内嵌设置在底板上，所述退火石英炉管的外壁上固定设置有连接杆，所述连接杆固定于横梁上，所述横梁的底部对称固定设置有支撑柱，所述支撑柱的底部对称固定设置有定位块，所述定位块固定设置在底板上。
[0016]优选的，所述第一温区和第二温区之间设置有间隔区，所述间隔区中对称设置有间隔区加热管，所述间隔区加热管上缠绕设置有间隔区加热丝，所述间隔区加热丝的间隔为mm
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mm，所述退火炉保温壳的外壁上设置有间隔区温控旋钮，所述间隔区温控旋钮和间隔区加热丝电性连接。
[0017]优选的，所述间隔区的两侧至少设置有一组阻挡结构，所述退火石英炉管靠近阻挡结构时，阻挡结构自动开启使得退火石英炉管可以和退火炉保温壳之间可发生相对移动。
[0018]优选的，所述阻挡结构包括第一调节气缸和第二调节气缸，所述第一调节气缸和第二调节气缸均固定于退火炉保温壳的内壁上，所述第一调节气缸的输出端固定设置有外隔热板，所述外隔热板远离第一调节气缸的一端内嵌设置有弹性凹槽垫，所述第二调节气缸输出端固定设置有内隔热板，所述内隔热板可卡嵌至弹性凹槽垫中，所述外隔热板沿着退火石英炉管和退火炉保温壳相对运动方向的两侧均固定设置有第一红外测距接收器，且该方向上还水平设置有第二红外测距接收器和红外测距发射器，所述第二红外测距接收器固定设置在退火炉保温壳的内壁两侧，所述红外测距发射器固定设置在退火石英炉管的两侧。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0020]1、本技术的退火炉管加热结构，可以直接将退火石英炉管从低温区移动到高温区进行加热，也可以从高温区平移至低温区进行降温，各个温区始终保持在设定温度，使得退火石英炉管内部的硅片等处理工件可以快速地得到升温，之后，退火石英炉管又可以快速降温，避免传统的封闭式加热导致热量难以快速散发的弊端，从而可以极大程度的减少等待时间，进而提高单位时间内的退火炉管的产能；
[0021]2、本技术的退火炉管加热结构，退火石英炉管上可拆卸地设置有退火炉管炉门，在升温和降温阶段，退火炉管炉门始终处于关闭状态，防止退火石英炉管中的硅片等处理工件在高温情况下与空气中的污染物发生反应，从而提高电池片的整体的少子寿命，提高电性能；
[0022]3、本技术的退火炉管加热结构，既可以是退火炉保温壳固定、退火石英炉管发生相对移动，也可以是退火石英炉管固定、退火炉保温壳发生相对移动，使用方式更加多样化，可以根据场地布局、操作习惯等等进行灵活设置，普适性强。
[0023]本技术提供了退火炉管加热结构，将退火石英炉管与加热的腔室分离，使得退火石英炉管可以快速移动至高温区进行加热，或者移动至低温区进行降温，升温迅速，无需等待加热丝逐步升温，降温也快捷，避免了传统密封式结构导致热量难以散发的弊端，从而显著提高了处理效率。
附图说明
[0024]图1为本技术的退火炉保温壳内部结构的俯视剖面示意图；
[0025]图2为本技术在实施例二中的侧视示意图；
[0026]图3为本技术在实施例三中的侧视示意图。
[0027]图中：1退火炉保温壳、2第一温区、3第二温区、4退火石英炉管、401退火炉管炉门、5石英舟、6加工区加热管、601加工区加热丝、7加工区温控旋钮、8传动辊、9推动气缸、10导向轨、11底板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火炉管加热结构，其特征在于，包括：退火炉保温壳(1)，所述退火炉保温壳(1)中至少设置有温度不同的第一温区(2)和第二温区(3)，且第一温区(2)、第二温区(3)的温度可分别通过加热系统进行独立调节；以及退火石英炉管(4)，所述退火石英炉管(4)上可拆卸地设置有退火炉管炉门(401)，所述退火石英炉管(4)中放置有石英舟(5)，所述退火石英炉管(4)设置在退火炉保温壳(1)的内腔中，且退火石英炉管(4)和退火炉保温壳(1)之间可发生相对移动。2.根据权利要求1所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：所述加热系统包括加工区加热管(6)、加工区加热丝(601)和加工区温控旋钮(7)，所述加工区加热管(6)上缠绕设置有加工区加热丝(601)，所述退火炉保温壳(1)的外壁上设置有加工区温控旋钮(7)，所述加工区温控旋钮(7)和相应的加工区加热丝(601)电性连接。3.根据权利要求2所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：位于第一温区(2)的所述加工区加热丝(601)的间隔为10mm
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15mm，位于第二温区(3)的所述加工区加热丝(601)的间隔为15mm
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20mm。4.根据权利要求1所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：所述退火石英炉管(4)可在退火炉保温壳(1)中发生移动。5.根据权利要求4所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：所述退火炉保温壳(1)的底部铰接设置有多个传动辊(8)，所述传动辊(8)可由动力源驱动进而对退火石英炉管(4)进行传动。6.根据权利要求1所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：所述退火石英炉管(4)的位置固定，且所述退火炉保温壳(1)可相对退火石英炉管(4)发生移动。7.根据权利要求6所述的一种退火炉管加热结构，其特征在于：所述退火炉保温壳(1)固定于推动气缸(9)的输出端，所述退火炉保温壳(1)的底部活动设置在导向轨(10)上，所述导向轨(10)内嵌设置在底板(11)上，所述退火...

【专利技术属性】
技术研发人员：周公庆，陶西云，谈仕祥，刘赖生，
申请(专利权)人：通威太阳能眉山有限公司，
类型：新型
国别省市：