电子元件测量设备、电子元件测量方法及发光二极管的制造方法技术

一种电子元件测量设备，其包括第一承载平台、第二承载平台、致动装置、电流输出模组、切换装置以及光学测量元件。第一承载平台用于承载探针基板，探针基板上设有多个探针对。第二承载平台用于承载受测基板，受测基板上放置有多个待测电子元件。致动装置用于使探针基板上至少部分的探针对分别与相对应的待测电子元件接触。电流输出模组提供恒定电流至探针基板，并经由探针对使其与探针对所接触的待测电子元件间形成导电回路。切换装置能切换电流输出模组所提供的恒定电流至不同的探针对。光学测量元件用于测量待测电子元件所产生的光信号。号。号。

【技术实现步骤摘要】
电子元件测量设备、电子元件测量方法及发光二极管的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种电子元件测量设备、电子元件测量方法及发光二极管的制造方法。

技术介绍

[0002]现有技术中的多个待测电子元件需要先从晶圆基底上彼此分离后再各别地进行光学检测，如此的检测方式不但费时而且又费工。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种电子元件测量设备、电子元件测量方法及发光二极管的制造方法。
[0004]为了解决上述的技术问题，本专利技术所采用的一技术方案是提供一种电子元件测量设备，其包括一第一承载平台、一第二承载平台、一致动装置、一电流输出模组、一切换装置以及一光学测量元件。第一承载平台用于承载一探针基板，该探针基板上设有多个探针对。第二承载平台用于承载一受测基板，该受测基板上放置有多个待测电子元件。致动装置用于使该第一承载平台与该第二承载平台相互靠近，以使该第一承载平台所承载的探针基板上至少部分的探针对分别与该第二承载平台所承载的受测基板上的相对应的待测电子元件接触。电流输出模组能提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子元件测量设备，其特征在于，该电子元件测量设备包括：第一承载平台，其用于承载探针基板，该探针基板上设有多个探针对；第二承载平台，其用于承载受测基板，该受测基板上放置有多个待测电子元件；致动装置，其用于使该第一承载平台与该第二承载平台相互靠近，以使该第一承载平台所承载的探针基板上至少部分的探针对分别与该第二承载平台所承载的受测基板上的相对应的待测电子元件接触；电流输出模组，其能提供恒定电流至该第一承载平台所承载的探针基板，并经由该探针对使其与该探针对所接触的待测电子元件间形成导电回路，而该待测电子元件能藉由该导电回路产生光信号；切换装置，其能切换该电流输出模组所提供的恒定电流至不同的探针对；以及光学测量元件，其用于测量该第二承载平台所承载的受测基板上的待测电子元件所产生的光信号。2.根据权利要求1所述的电子元件测量设备，其特征在于，该电流输出模组输出该恒定电流至该第一承载平台所承载的探针基板上的一个探针对，再由该切换装置将该恒定电流输出切换至另一个探针对。3.根据权利要求1所述的电子元件测量设备，其特征在于，该电流输出模组输出该恒定电流至该第一承载平台所承载的探针基板上的一组探针对，再由该切换装置将该恒定电流输出切换至另一组探针对。4.一种电子元件测量设备，其特征在于，该电子元件测量设备包括：第一承载平台，其用于承载探针基板，该探针基板上设有多个探针对；第二承载平台，其用于承载受测基板，该受测基板上放置有多个待测电子元件；致动装置，其用于使该第一承载平台与该第二承载平台相互靠近，以使该第一承载平台所承载的探针基板上至少部分的探针对分别与该第二承载平台所承载的受测基板上的相对应的待测电子元件接触；电流输出模组，其能提供恒定电流至该第一承载平台所承载的探针基板，并经由该探针对使其与该探针对所接触的待测电子元件间形成导电回路；切换装置，其能切换该电流输出模组所提供的恒定电流至不同的探针对；电压测量元件，其用于测量该第二承载平台所承载的受测基板上的待测电子元件的电压；以及运算装置，与该电压测量元件电性连接，接收该电...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈英杰，
申请(专利权)人：台湾爱司帝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：