一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机设备技术领域，尤其为一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体、安装器件顶面、安装器件本体、端面密封圈和锁紧螺母，所述真空腔体的内侧滑动连接有安装器件本体，所述安装器件本体的左端面固定连接有安装器件顶面，所述安装器件顶面的右端面与真空腔体的左端面相贴合，所述安装器件本体的外侧螺旋连接有锁紧螺母，且锁紧螺母的左端面与真空腔体的右端面相贴合，所述安装器件本体的外侧套接有轴密封圈，本实用新型专利技术中，通过设置的端面密封圈和双层的轴密封圈，达到多重密封的效果，可以有效的提高设备整体的密封性能，能够提高产品质量，给客户降低维护成本，提高了生产效率。提高了生产效率。提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机设备
，具体为一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，真空指标对产品质量起着决定性的作用，如果设备密封性能不好，直接影响着产品的质量，随着社会的发展，对真空镀膜机设备的应用愈加广泛，因此，因此，提高安装器件的密封性，对于设备的可靠性和稳定性有着重要的意义，一般的真空镀膜机只使用端面密封结构，由于采用橡胶密封材料易老化，无法有效的保证设备整体的密封性，对真空度影响很大，严重影响着产品的质量，因此，针对上述问题提出一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体、安装器件顶面、安装器件本体、端面密封圈和锁紧螺母，所述真空腔体的内侧滑动连接有安装器件本体，所述安装器件本体的左端面固定连接有安装器件顶面，所述安装器件顶面的右端面与真空腔体的左端面相贴合，所述安装器件本体的外侧螺旋连接有锁紧螺母，且锁紧螺母的左端面与真空腔体的右端面相贴合，所述安装器件本体的外侧套接有轴密封圈。
[0006]优选的，所述端面密封圈的内径与安装器件本体的外径相同，且端面密封圈的左端与安装器件顶面的右端面相贴合。
[0007]优选的，所述安装器件本体的外侧开设有安装槽，且轴密封圈通过安装槽与安装器件本体相贴合。
[0008]优选的，所述轴密封圈和安装槽的数量分别各有两个，且轴密封圈的外端面与真空腔体的内侧相贴合。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0010]1、本技术中，通过设置的端面密封圈和双层的轴密封圈搭配使用，达到多重密封的效果，可以有效的提高设备整体的密封性能，能够提高产品质量，给客户降低维护成本，提高了生产效率。
附图说明
[0011]图1为本技术整体结构示意图；
[0012]图2为本技术图1的A处结构示意图；
[0013]图3为本技术现有技术示意图。
[0014]图中：1
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真空腔体、2
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安装器件顶面、3
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安装器件本体、4
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端面密封圈、 5
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锁紧螺母、6
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轴密封圈、7
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安装槽。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0017]除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本专利技术的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0018]在本专利技术的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
[0019]为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在，，，，之上”、“在，，，，上方”、“在，，，，上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在，，，，上方”可以包括“在，，，，上方”和“在，，，，下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90 度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
[0020]此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制。
[0021]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：
[0022]一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体1、安装器件
顶面2、安装器件本体3、端面密封圈4和锁紧螺母5，真空腔体1 的内侧滑动连接有安装器件本体3，安装器件本体3的左端面固定连接有安装器件顶面2，安装器件顶面2的右端面与真空腔体1的左端面相贴合，安装器件本体3的外侧螺旋连接有锁紧螺母5，且锁紧螺母5的左端面与真空腔体1 的右端面相贴合，安装器件本体3的外侧套接有轴密封圈6。
[0023]端面密封圈4的内径与安装器件本体3的外径相同，且端面密封圈4的左端与安装器件顶面2的右端面相贴合，利用端面密封圈起到单层密封的效果；安装器件本体3的外侧开设有安装槽7，且轴密封圈6通过安装槽7与安装器件本体3相贴合，将轴密封圈6安装在安装槽7内，可以有效的提高轴密封圈6安装的稳定性，防止轴密封圈6损伤脱落，轴密封圈6和安装槽7 的数量分别各有两个，且轴密封圈6的外端面与真空腔体1的内侧相贴合，通过对设备零部件进行端面密封和轴密封的双重密封结构，来提高设备整体的密封性能，从而提高产品质量。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于真空镀膜机设备安装器件的双重密封结构，包括真空腔体(1)、安装器件顶面(2)、安装器件本体(3)、端面密封圈(4)和锁紧螺母(5)，其特征在于：所述真空腔体(1)的内侧滑动连接有安装器件本体(3)，所述安装器件本体(3)的左端面固定连接有安装器件顶面(2)，所述安装器件顶面(2)的右端面与真空腔体(1)的左端面相贴合，所述安装器件本体(3)的外侧螺旋连接有锁紧螺母(5)，且锁紧螺母(5)的左端面与真空腔体(1)的右端面相贴合，所述安装器件本体(3)的外侧套接有轴密封圈(6)。2.根据权利要求1所述的一种适用于真空镀膜机设备安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松沛，李坡，肖丰玲，
申请(专利权)人：中山凯旋真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：